株式会社アールデック

XYZマニピュレータ XYZ Manipulators
サーミオニクス社では、高精度位置決め機器として4種類のシングルベローズと
1種類のデュアルベローズXYZマニピュレータをご用意しております。
それぞれのマニピュレータは、独自の特長と異なるパフォーマンスレベルを持っています。
アプリケーション、サンプルサイズ、自由度と自由領域、精度、柔軟性(rigidity)により仕様が決定されます。


・ 幅広いアプリケーションに応えることのできる広範囲な仕様
・ 最大内径のベローズでの対応も可能(11サイズ)
・ 真空にさらされる部分の材質は、ステンレスのみ
・ 全てのポジションでの動作
・ 最高ベーク可能温度:200°C
・ 様々なオプション対応可

単体または完全なシステムとして …
XYZマニピュレータは、単体でもまたは、最大6軸までのモーションを備えたパッケージとしてもご提供可能です。
サーミオニクス社では、幅広いレンジのモーション、サンプル加熱、サンプル冷却、サンプルトランスファーをご用意致しております。

XYZマニピュレータ 各シリーズ
ECシリーズ FBシリーズ
EMCシリーズ FMシリーズ
EMXシリーズ    


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