株式会社アールデック

ECシリーズ XYZマニピュレータ EC series XYZ Manipulators
ECシリーズXYZマニピュレータは、最小のコストで高精度位置決めを実現します。
これらの製品はマイクロメータ ‐ ステージ間カプリングがすでに組み込まれ、
精密なプリインストール型クロスローラーステージ制御を搭載しています。
XYガイドシステムは硬化鋼製です。


EC-1.39-2 標準モデル

EC-1.39-2  オプション5ミニポートの6.0" ベースフランジ付き


・ 最高ベーク可能温度200°C (構造に鋳物を使用していない完全組立て)
・ 硬化鋼製XおよびY クロス・ローラーガイド
・ 二重 0.75" 外径精密研磨ステンレス製Zガイドロッド
・ アルミステージ構造
・ 真空接触部材はステンレスのみ
・ 全位置操作



運動仕様
X軸
分解能: < 0.0001" (0.0025 mm) オプションの大型マイクロメータでのみ可読性あり
再現性: < 0.00015" (0.0038 mm)
バックラッシュ: < 0.00015" (0.0038 mm)
Y軸
分解能: < 0.0001" (0.0025 mm) オプションの大型マイクロメータでのみ可読性あり
再現性: < 0.00015" (0.0038 mm)
バックラッシュ: < 0.00015" (0.0038 mm)
Z軸
分解能: < 0.0005" (0.013 mm)
再現性: < 0.0005" (0.013 mm)
バックラッシュ: < 0.0007" (0.018 mm)
剛性: < 0.001"  5ポンドの負荷変動で (1.39"内径ベローズのみ)

ベローズ
・ 1.39" または 1.87" 内径ベローズ

X & Y軸
・ ±0.5" X およびY 移動、円形パターン、事前組込みマイクロメータ - ステージ間カップリング、0.001" マイクロメータ分割
・ マイクロメータ最高ベーク温度: 200°C

Z 軸
・ 2"、4" および6" アクメZ移動、0.100"/回転つまみ調節

移動フランジ
・ ICF70 (2.75") 外径移動フランジ、タップ付き


注文情報
ECシリーズXYZ 3軸 超真空精密マニピュレータ
ベースフランジ
外径
ベローズ
内径
Z移動 モデルNo.
ICF70 (2.75") 1.39" 2" EC-B275C-T275T-1.39-2
4" EC-B275C-T275T-1.39-4
6" EC-B275C-T275T-1.39-6
ICF114 (4.5") 1.87" 2" EC-B450C-T275T-1.87-2
4" EC-B450C-T275T-1.87-4
6" EC-B450C-T275T-1.87-6

オプション
▼ 6" ベースフランジ
6" Base Flange
モデルNo. -B600C
・ ベースフランジを外径6.0" へ変更
・ 当オプションはどのモデルとも注文可能

▼ 5ミニポート付き6" ベースフランジ
6" Base Flange with 5 Mini-Ports
モデルNo. -B600MC
・ ベースフランジを5ミニポート付きの外径6.0" へ変更
・ 当オプションは内径1.39" ベローズとのみ注文可能

▼ XYマイクロメータ、±0.5"移動
XY Micrometers, ±0.5" Travel
モデルNo. /LM
・ 0.0001" 分割の大型マイクロメータ
・ 2個一組

▼ 動力化 (モーター駆動化)
Motorization
モデルNo. /MS ステッピング または /MY 同期モーター駆動

▼ その他オプション
偏向回転
・ 回転シール
・ 回転導入機
・ レデューサーフィードスルーハット
・ チルト
試料動作
・ 取り付け
・ 加熱
・ 冷却
Copyright(c)1988-2016 R-DEC Co.,Ltd. All Rights Reserved.