株式会社アールデック

EMCシリーズ XYZマニピュレータ EMC series XYZ Manipulators
EMCシリーズXYZマニピュレータはサーミオニクス社マニピュレータラインの新しい主力製品です。
この汎用XYZ保定装置は幅広いアプリケーションに適合するようカスタマイズが可能です。


EMCマニピュレータ
(特注ベローズ、オプションの大型マイクロメータとミニポート付き6"フランジとの構成)


・ 1.39"、1.87"、2.0"および2.5"内径ベローズ
・ 強化X&Yクロスローラーガイド
・ 0.500"外径精密研磨ステンレス鋼Zガイドロッド
・ アルミ製ステージ構造
・ 真空接触部材はすべてステンレス製
・ 最高ベーク温度: 200°C


X & Y軸
・ ±0.5" X およびY 移動、円形パターン、事前組込みマイクロメータ - ステージ間カップリング、
  0.001" マイクロメータ分割、小型マイクロメータ

Z 軸
・ 2" ~ 36" Z移動、ギアボックスアクメ駆動、0.100"/回転、10回転/インチ、0.001" 分割、位置決めロック

ベースフランジ
・ ICF114 (4.5")外径、標準ICF70(2.75")/内径1.39"ベローズモデル
・ オプションICF152(6") またはICF203(8")外径

移動フランジ
・ ICF70 (2.75")外径、タップ加工、標準

注文情報
EMCシリーズXYZ 3軸 超真空精密マニピュレータ (2インチZ移動付き)
ベローズ内径 ベースフランジ
外径
移動フランジ
外径
モデルNo.
1.39" ICF70 (2.75") ICF70 (2.75") EMC-B275C-T275T-1.39-2
1.87" ICF114 (4.5") ICF70 (2.75") EMC-B450C-T275T-1.87-2
2.5" ICF114 (4.5") ICF70 (2.75") EMC-B450C-T275T-2.5-2

オプション
▼ 6" ベースフランジ
6" Base Flange
モデルNo. -B600C
・ ベースフランジを外径6.0" へ変更
・ 当オプションはどのモデルとも注文可能

▼ 5ミニポート付き6" ベースフランジ

6" Base Flange with 5 Mini-Ports
モデルNo. -B600MC
・ ベースフランジを5ミニポート付きの外径6.0" へ変更
・ 当オプションは内径1.39" ベローズとのみ注文可能

▼ 8" ベースフランジ
8" Base Flange
モデルNo. -B800T
・ ベースフランジを外径8.0" (タップ付き)へ変更
・ 当オプションはどのモデルとも注文可能

▼ XYマイクロメータ、±0.5"移動
XY Micrometers, ±0.5" Travel
モデルNo. /LM
・ 0.0001" 分割の大型マイクロメータ
・ 2個一組

▼ カスタムサポートチューブ
Custom Support Tube
モデルNo. /ST-.75
・ 0.75" 外径
・ 回転シャフト用エンドベアリングサポート
・ 長さは顧客指定

▼ 動力化 (モーター駆動化)

Motorization
モデルNo. /MS ステッピング または /MY 同期モーター駆動

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