株式会社アールデック

EMXシリーズ XYZマニピュレータ EMX series XYZ Manipulators
EMXシリーズXYZマニピュレータがサーミオニクス社マニピュレータラインに加わりました。
大型の内径ベローズでお客様のUHVチャンバーへクリアーアクセス可能です。


EMXマニピュレータ
(特注ベローズ、オプションの大型マイクロメータとRNN™ 付き)


・ 2.0"、2.5" および3.0"内径ベローズ
・ 強化X&Yクロスローラーガイド
・ 0.75"外径精密研磨ステンレス鋼Zガイドロッド
・ 強化ステンレス製リニアベアリング
・ 全ステンレス製XYZガイドシステム
・ 可変Xマイクロメータ位置
・ アルミ製ステージ構造
・ 真空接触部材はすべてステンレス製
・ 最高ベーク温度: 200°C



X & Y軸
・ ±0.5" または ±1.0" XおよびY 移動、円形パターン、事前組込みマイクロメータ - ステージ間カップリング、0.001" マイクロメータ分割、
  小型マイクロメータ標準(大型ドラムダイアルマイクロメータはオプション)

Z 軸
・ 2" ~ 36" Z移動、4:1ウォームアクメギアボックス、0.050"/回転、20回転/インチ、0.001" 分割、位置決めロック

ベースフランジ
・ ICF114 (4.5")外径、(4.62"ベースフランジ標準/内径3.00"ベローズ)
・ オプションサイズ:ICF152(6") またはICF203(8")

移動フランジ
・ ICF114 (4.5")外径、タップ加工(4.62" 移動フランジ標準/内径3.0"ベローズ)
・ オプションICF70 (2.75")、タップ加工のみ

注文情報
EMXシリーズXYZ 3軸 超真空精密マニピュレータ (2インチZ移動付き)
ベローズ内径 XY移動 モデルNo.
2.5" ±0.5" EMX-B450C-T450T-2.5-1-1-2
±1.0" EMX-B450C-T450T-2.5-2-2-2
3.0" ±0.5" EMX-B462C-T450T-3.0-1-1-2
±1.0" EMX-B462C-T450T-3.0-2-2-2


オプション
▼ 6" ベースフランジ
6" Base Flange
モデルNo. -B600C
・ ベースフランジを外径6.0" へ変更
・ 当オプションはどのモデルとも注文可能

▼ 5ミニポート付き6" ベースフランジ
6" Base Flange with 5 Mini-Ports
モデルNo. -B600MC
・ ベースフランジを5ミニポート付きの外径6.0" へ変更
・ 当オプションは内径1.39" ベローズとのみ注文可能

▼ 8" ベースフランジ
8" Base Flange
モデルNo. -B800T
・ ベースフランジを外径8.0" (タップ付き)へ変更
・ 当オプションはどのモデルとも注文可能

▼ XYマイクロメータ、±0.5"移動
XY Micrometers, ±0.5" Travel
モデルNo. /LM
・ 0.0001" 分割の大型マイクロメータ
・ 2個一組

▼ XYマイクロメータ、±1.0"移動
XY Micrometers, ±1.0" Travel
モデルNo. /LM
・ 0.0001" 分割の大型マイクロメータ
・ 2個一組

▼ カスタムサポートチューブ
Custom Support Tube
モデルNo. /ST-.75
・ 0.75" 外径
・ 回転シャフト用エンドベアリングサポート
・ 長さは顧客指定

▼ 動力化 (モーター駆動化)
Motorization
モデルNo. /MS ステッピング または /MY 同期モーター駆動
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