株式会社アールデック


FMシリーズ XYZマニピュレータ FM series XYZ Manipulators


FMシリーズXYZ複合精密マニピュレータは2つのベローズを利用しています。
1つは本体底部にある大内径の短いベローズでXY動作範囲を提供するために、
もう1つは小内径のベローズでZ軸移動を供給するために使用しています。
この手法は、有効口径は要せず、大幅なZ移動を要する単一大内径ベローズのシステムより大幅な節約になります。
これらのユニットは±0.5" または±1" のX&Y移動、最大4" のXYベローズが選べ、
最大36" 以上のZ移動、最大2.5" 内径のZベローズと提供可能です。
FMシリーズは垂直方向または水平方向にも取り付けることができます。
水平方向取付けパッケージは、装置のポジショニングを維持するための特注定格カウンターバランスばねが選べます。
ZステージはXYステージから分離可能です。

EC-1.39-2 標準モデル


・ 拡張バックフレーム
・ 硬化ステンレス鋼ベアリングとガイドロッド
・ すべてのXYベアリングが調整可能
・ 最大ベーク温度:200°C、完全組み立て状態で


運動仕様
X軸
分解能: < 0.0001" (0.0025 mm)
再現性: < 0.0001" (0.0025 mm)
バックラッシュ: < 0.00015" (0.0038 mm)
Y軸
分解能: < 0.0001" (0.0025 mm)
再現性: < 0.0001" (0.0025 mm)
バックラッシュ: < 0.00015" (0.0038 mm)
Z軸
分解能: < 0.0005" (0.0127 mm)
再現性: < 0.0005" (0.0127 mm)
バックラッシュ: < 0.0007" (0.0178 mm)

X & Y軸
・ ± 0.5" または ± 1" のX&Y移動、円形パターン、標準、0.001" マイクロメータ分割、
  小型マイクロメータ (大型マイクロメータ、0.0001" 分割、オプション)

Z 軸
・ 2" ~ 36" Z移動、ギアボックス アクメ駆動、0.100"/回転 (10 回転/インチ)、0.001" 分割、位置ロック;拡張バックフレーム付き

ベースフランジ
・ ICF152 (6.0")外径 UHVベースフランジ、タップ付き

移動フランジ
・ ICF70 (2.75")外径 移動フランジ

注文情報
FMシリーズXYZ 3軸 超真空精密マニピュレータ
XY内径 Z内径 XY移動 モデルNo.
3" 1.53" ±0.5" FM103-B600T-T275C-1.53-1-1-2
±1.0" FM103-B600T-T275C-1.53-2-2-2
1.87" ±0.5" FM103-B600T-T275C-1.87-1-1-2
±1.0" FM103-B600T-T275C-1.87-2-2-2
2.5" ±0.5" FM103-B600T-T275C-2.50-1-1-2
±1.0" FM103-B600T-T275C-2.50-2-2-2
4" 1.53" ±0.5" FM104-B600T-T275C-1.53-1-1-2
±1.0" FM104-B600T-T275C-1.53-2-2-2
1.87" ±0.5" FM104-B600T-T275C-1.87-1-1-2
±1.0" FM104-B600T-T275C-1.87-2-2-2
2.5" ±0.5" FM104-B600T-T275C-2.50-1-1-2
±1.0" FM104-B600T-T275C-2.50-2-2-2
※2インチ単位で追加Z移動対応可能。

オプション
▼ 8" ベースフランジ
8" Base Flange
モデルNo. -B800T
・ ベースフランジを外径8.0" へ変更(タップ付き)
・ 当オプションはどのモデルとも注文可能

▼ 10" ベースフランジ
10" Base Flange
モデルNo. -B1000T
・ ベースフランジを外径10.0" へ変更
・ 当オプションはどのモデルとも注文可能

▼ 特注サポートチューブ
Custom Support Tube
モデルNo. /ST-.75
・ 外径0.75" ~ 2.0"
・ ロータリーシャフト用 先端ベアリングサポート
・ 長さは顧客指定

▼ XYマイクロメータ ± 0.5"移動
XY Micrometers, ±0.5" Travel
モデルNo. /LM
・ 0.0001" 分割の大型マイクロメータ
・ 2個一組

▼ XYマイクロメータ ± 1.0"移動
XY Micrometers, ±1.0" Travel
モデルNo. /LM
・ 0.0001" 分割の大型マイクロメータ
・ 2個一組

▼ 動力化 (モーター駆動化)
Motorization
モデルNo. /MS ステッピング または /MY 同期モーター駆動

▼ リフティングパッケージ
Lifting Package
モデルNo. /LP
・ ステンレス製吊り上げ用アイボルト

▼ リフティングハンドル
Lifting Handles
モデルNo. /LH

▼ 水平取付けパッケージ
Horizontal Mounting Package
モデルNo. /HMP
・ 最大6" までのZ移動モデルに最適
・ 必要に応じてベースフランジ改造
・ 特大ガイドロッド
・ 2引張コイルばね組、お客様の装置の積載量に基づく特注力レベル

▼ プローブサポート‐直線
Probe Support ー Linear
モデルNo. /PL-( )
・ Zステージ基部に直線状のオールステンレス製ベアリングを追加
チューブ内径 モデルNo.
1.00" /PL-1
1.50" /PL-1.5*
2.00" /PL-2
* 1.5"プローブ用には1.87"ベローズ推奨。

▼ プローブサポート‐直線回転
Probe Support ― Linear-Rotary
モデルNo. /PLR-( ) または /PTF-( )
・ Zステージ基部に直線-回転のオールステンレス製またはテフロン製ベアリングを追加
・ 一般にRNNシリーズ回転プラットフォームと回転サポートチューブと一緒に使用。
チューブ内径 SUS モデルNo. Teflon モデルNo.
1.00" /PLR-1 /PTF-1
1.50" /PLR-1.5 /PTF-1.5*
2.00" /PLR-2 /PTF-2
* 1.5"プローブ用には1.87"ベローズ推奨。
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