株式会社アールデック

Hanks HM2シリーズ Eガン (6kW~20kW) Hanks HM2 e-Guns (6kW20kW)
- シングルルツボタイプ Single Crucible

当電子ビーム蒸着ソースは特許モジュラーマグネット設計です。
信頼できる簡単操作で、研究または生産用途における均一で高純度な膜と光学コーティングの製作に適しています。
6 kW ~ 15 kWの範囲でご用意。
従来の蒸発源に比べ33%小型化、しかも、ルツボ容量、蒸着レートは変わらず、大型ガンのパワー能力に匹敵します。
UHV対応: メタルシールド、完全UHV対応、測定基準圧: 2x10-11 Torr


最大電力 6 kW 10 kW 15 kW
ルツボ容量 7/10 cc 10/15/40 cc 40/75/100 cc
放出電圧 7.5 kV 10 kV 10 kV
放出電流 0 ~ 800 mA 0 ~ 1.0 A 0 ~ 1.5 A
フィラメント 700 W 700 W 700 W
E-ビーム偏向 220° 220° 220°
ビームスポットサイズ 0.25" 径 0.25" 径 0.25" 径
蒸発速度 (Alの場合) - 10 kWで1 gm/min
25cmで3.6ミクロン
15 kWで1.5 gm/min
50,000 Å min
XYスイープ Hyper-Unimelt スイープ
(0 - 200 Hz)
Hyper-Unimelt スイープ
(0 - 200 Hz)
Hyper-Unimelt スイープ
(0 - 200 Hz)
冷却水 3.0 gpm, 50 psi
3/8" 径チューブ
3.0 gpm, 50 psi
3/8" 径チューブ
3.0 gpm, 50 psi
3/8" 径チューブ
ルツボ材質 無酸素銅 無酸素銅 無酸素銅
ベークアウト温度 230℃ (446℉) 230℃ (446℉) 230℃ (446℉)
Eガン サイズ 4.50" x 3.25" x 2.50" 4.50" x 3.25" x 2.50" 5.00" x 3.50" x 2.50"
重量 5 lbs 5 lbs 7 lbs

取り付け構成
各Eガンは以下3つの標準構成で取り揃えています。
・ 標準OFE(無酸素)銅ガスケット使用のPyraFlatまたはCFメタルシールタイプのフランジにEガンを取り付け
・ 1インチ径ボルトタイプのマウント付きEガンを、1インチ径穴に挿入し、圧縮O-リングでシールして取り付け
・ 取付けフランジなしのEガン単体

モデルタイプ
  電力 ルツボ容量 モデルNo.
シングルルツボ 6 kW 7 cc 607
10 cc 610
10 kW 10 cc 1010
15 cc 1015
15 kW 40cc 1540
75 cc 1575
100 cc 15100
ツイン-2xシングルルツボ 10 kW 10 cc D1010
15 cc D1015
15 kW 40 cc D1540




- マルチルツボ回転タイプ Multiple Crucible Rotary

独自のモジュラ―マグネットコンセプトがマルチルツボ回転型Hanks HM2 Eガン設計に取り入れられています。
このコンセプトで小型ユニットを可能にしました。Hanks HM2 のユニークな特長すべてがこのモデルに組み込まれています。
高真空対応:メタルおよびエラストマーシール、測定基準圧力:2×10-9 Torr



最大電力 6 kW 10 kW
ルツボ容量 7/10/15 cc 10/15/25 cc
放出電圧 7.5 kV 10 kV
放出電流 0 ~ 800 mA 0 ~ 1.0 A
フィラメント 700 W 700 W
E-ビーム偏向 220° 220°
ビームスポットサイズ 0.25" 径 0.25" 径
蒸発速度 (Alの場合) - 10 kWで1 gm/min
25cmで3.6ミクロン
XYスイープ Hyper-Unimelt スイープ
(0 - 200 Hz)
Hyper-Unimelt スイープ
(0 - 200 Hz)
冷却水 3.0 gpm, 50 psi
3/8" 径チューブ
3.0 gpm, 50 psi
3/8" 径チューブ
ルツボ材質 無酸素銅 無酸素銅
ベークアウト温度 120℃ (250℉) 120℃ (250℉)
Eガン サイズ 7.5" x 6.0" x 3.75" 7.5" x 6.0" x 3.75"
重量 22 lbs 22 lbs

取り付け構成 → シングルルツボタイプ参照

モデルタイプ
電力 ルツボ数 ルツボ容量 モデルNo.
6 kW 4 7 cc R0607-4
4 10 cc R0610-4
4 15 cc R0615-4
10 kW 4 10 cc R1010-4
4 15 cc R1015-4
4 25 cc R1025-4




- ハイドラ Eガン Hydra e-Guns

Hydra Eガンは、コンパクトなルツボ配列と電子エミッタで構成され、
相互に直線平行移動させて最大6種類の材料を同時に共蒸着することができます。
スペースを有効利用し、6個のルツボのうち4種の組合せか、2つの金属の組合せで最大42順列の共蒸着が可能です。

Co-Evaporation Technology  - 共蒸発技術 -
・ 単列 ― ルツボ5個、1~3エミッタ
・ 二重配列 ― ルツボ10個、2~6エミッタ


最大電力 10 kW 15 kW
ルツボ容量 10/15 cc 40 cc
放出電圧 10 kV 10 kV
放出電流 0 ~ 1.0 A 0 ~ 1.5 A
フィラメント 700 W 700 W
E-ビーム偏向 220° 220°
ビームスポットサイズ 0.25" 径 0.25" 径
蒸発速度(Alの場合) 10 kWで1 gm/min
25cmで3.6ミクロン
15 kWで1.5 gm/min
50,000 Å min
XYスイープ Hyper-Unimelt スイープ
(0 - 200 Hz)
Hyper-Unimelt スイープ
(0 - 200 Hz)
冷却水 3.0 gpm/ルツボ
共通帰線 (最大30 gpm)
3.0 gpm/ルツボ
共通帰線 (最大30 gpm)
ルツボ材質 無酸素銅 無酸素銅
ベークアウト温度 230℃ (446℉) 230℃ (446℉)
Eガンサイズ - シングル配列 6.25" x 5.5" x 15" 6.25" x 5.75" x 15"
Eガンサイズ - 2層配列 6.25" x 11" x 15" 6.25" x 11.5" x 15"

取り付け構成 → シングルルツボタイプ参照



- トライアッド Eガン Triad e-Guns

3台のシングルルツボEガンを1個のフランジに放射状配列した多元蒸発源です。


最大電力 6 kW 10 kW
ルツボ容量 10 cc 10/15/40 cc
放出電圧 7.5 kV 10 kV
放出電流 0 ~ 800 mA 0 ~ 1.0 A
フィラメント 700 W 700 W
E-ビーム偏向 220° 220°
ビームスポットサイズ 0.25" 径 0.25" 径
蒸発速度(Alの場合) - 10 kWで1 gm/min
25cmで3.6ミクロン
XYスイープ Hyper-Unimelt スイープ
(0 - 200 Hz)
Hyper-Unimelt スイープ
(0 - 200 Hz)
冷却水 3.0 gpm/ルツボ
共通帰線 (最大9" gpm)
3.0 gpm/ルツボ
共通帰線 (最大9" gpm)
ルツボ材質 無酸素銅 無酸素銅
ベークアウト温度 230℃ (446℉) 230℃ (446℉)
重量 14 lbs (フランジなし) 14 lbs (フランジなし)

取り付け構成 → シングルルツボタイプ参照

モデルタイプ
電力 ルツボ容量 モデルNo.
6 kW 10 cc T0610
10 kW 10 cc T1010
15 cc T1015
40 cc T1040

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