株式会社アールデック


大容量Eガン High Capacity e-Guns


270° ビーム偏向
大容量Eガンシリーズは実績のある270° 電子ビーム偏向システムを内蔵しています。
フィラメントはルツボの同一視線外の下部に隠れた位置にあるため、
イオン腐食を防いで漂遊粒子や凝縮物が原因となるショートから最大限保護します。

長寿命エミッタ部組
270° 電子ビーム偏向設計が新開発のエミッタ部組とともにさらに改良されました。

簡単フィラメント交換
エミッタ部組デザインで、フィラメントの取外し・交換が素早く簡単にできます。
フィラメント位置合せツール が臨界フィラメント耐性を維持し、迅速かつ正確なフィラメント交換を可能にします。

永久磁石ビームポジショニング
一次ビーム位置は永久磁石で制御され、精密位置決めやビームスイープには電磁石を使用しています。

UHV 対応
メタルシールド、完全UHV対応、測定基準圧: 2x10-11 Torr

- シングルルツボタイプ Single Crucible


最大電力 10 kW
放出電圧 - 6 ~ 10 kV
放出電流 0 ~ 1 A
フィラメント 700 W
E-ビーム偏向 270°
ビームスポットサイズ 0.25" 径、タイトビーム
蒸発速度 10 kWで1 g/min
ソース-基板間が10インチ(250mm)で36,000Å/min アルミニウム
XYスイープ サーミオニクス製スイープコントローラ動作時、最大200Hz縦横方向制御
冷却水 3.0 gpm、20℃、50 psi 差動圧
ルツボ材質 無酸素銅
ベークアウト温度 230℃ (446℉)

取り付け構成
各Eガンは以下3つの標準構成で取り揃えています。
・ 標準OFE(無酸素)銅ガスケット使用のPyraFlatまたはCFメタルシールタイプのフランジにEガンを取り付け
・ 1インチ径ボルトタイプのマウント付きEガンを、1インチ径穴に挿入し、圧縮O-リングでシールして取り付け
・ 取付けフランジなしのEガン単体

モデルタイプ
モデルNo. ルツボ
HCF1007 7 cc シングル
HCF1015 15 cc シングル
HCF1025 25 cc シングル
HCF1040 40 cc シングル




- マルチルツボ直線タイプ Multiple Crucible Linear e-Guns

HC(大容量)シリーズ直線型Eガンは全メタルシールドで、ルツボ4個と5個のタイプがあり、ソースは最大5つの材料が連続蒸着可能です。
外径12インチCFフランジへの取付けが標準で、自動インデクサーとすべての機械・電気接続部が含まれています。


最大電力 10 kW
放出電圧 - 6 ~ 10 kV
放出電流 0 ~ 1 A
フィラメント 700 W
E-ビーム偏向 270°
ビームスポットサイズ 0.25" 径、タイトビーム
蒸発速度 10 kWで1 g/min
ソース-基板間が10インチ(250mm)で36,000Å/min アルミニウム
冷却水 3.0 gpm、20℃、50 psi 差動圧
ルツボ材質 無酸素銅
ベークアウト温度 230℃

取り付け構成 → シングルルツボタイプ参照

モデルタイプ
電力 ルツボサイズ(cm3) ルツボ数 モデルNo.
6 kW 7 4 HCL0607-4
5 HCL0607-5
15 4 HCL0615-4
5 HCL0615-5
25 4 HCL0625-4
10 kW 40 4 HCL1040-4
5 HCL1040-5
75 4 HCL1575-4
5 HCL1575-5





- HCR マルチルツボ回転タイプ Multiple Crucible Rotary e-Guns

HCシリーズ回転型Eガン蒸発源は、厳しい生産コーティング用途において優れた結果を生み出します。
大容量ルツボが長時間連続蒸発稼働を可能にします。簡単に素早く分解・組立でメンテナンス時間を短縮します。
HCR Eガンは最大耐用年数もたらすために設計されました。

・270°ビーム偏向
・マルチるつぼ、回転設計

・交換可能ルツボ
さまざまな容量と形状の交換可能ルツボブロックをご用意。
5つの標準ルツボ配列が可能で、様々な種類のソース材料、アプリケーション、プロセスに必要な柔軟性を提供します。

・ルツボの取り外し
回転ルツボブロック組は、清掃、交換、付け替えのために、簡単に素早くEガンの先端から取り外せます。

・長寿命エミッタ部組
・簡単フィラメント交換
・永久磁石ビームポジショニング
・一体型スイープコイル
・底部駆動 or サイド駆動が選択可能




最大電力 10 kW
放出電圧 - 6 ~ 10 kV
放出電流 0 ~ 1 A
フィラメント 700 W
E-ビーム偏向 270°
ビームスポットサイズ 0.25" 径、タイトビーム
蒸発速度 10 kWで1 g/min
ソース-基板間が10インチ(250mm)で36,000Å/min アルミニウム
冷却水 3.0 gpm、20℃、50 psi 差動圧
ルツボ材質 無酸素銅
ベークアウト温度 120℃ (250℉)

取り付け構成 → シングルルツボタイプ参照

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