株式会社アールデック


R&D向けEガン (3 kW) Research Capacity e-Guns (3 kW)


- シングルルツボ直線タイプ Single Crucible Linear

ビームの安定度とルツボ全体をカバーするXYスイープ効率をさらに高めました。
プラグインエミッタとスイープコイル組がEガンソースの利用をより容易にします。(スイープコイル組はEガンに付属されています。)


・ ルツボ全体をカバーする確実なXYスイープ
・ ソース付属のスイープコイル
・ 高度なビームコリメーション
・ プラグインエミッタモジュール
・ 高安定冷却の向上
・ クロスコンタミ遮蔽
・ 頑丈なデザイン


動作圧力 最適動作には 5 x 10-5 Torr以下が望ましい
ビーム電圧 4,000 VDC
ビーム電流 0 ~ 750 mA 連続可変
最大電力 3 kW
冷却水 1.5 gpm
圧力差 25 psi 最小
最高ベークアウト温度 230℃ (446℉)
ルツボ容量 2.24 cc

取り付け構成
各Eガンは以下3つの標準構成で取り揃えています。
・ 標準OFE(無酸素)銅ガスケット使用のPyraFlatまたはCFメタルシールタイプのフランジにEガンを取り付け
・ 1インチ径ボルトタイプのマウント付きEガンを、1インチ径穴に挿入し、圧縮O-リングでシールして取り付け
・ 取付けフランジなしのEガン単体




- マルチルツボ直線タイプ Multiple Crucible Linear

   RCシリーズ3ポジション直線型Eガン(オプションの自動インデクサー付き)

ビームの安定度とルツボ全体をカバーするXYスイープ効率をさらに高めました。
プラグインエミッタとスイープコイル組がEガンソースの利用をより容易にします。(別売りの自動インデクサーで自動位置決めが可能です。)


・ ルツボ全体をカバーする確実なXYスイープ
・ ソース付属のスイープコイル
・ 高度なビームコリメーション
・ プラグインエミッタモジュール
・ 高安定冷却の向上
・ クロスコンタミ遮蔽
・ 頑丈なデザイン
・ 自動インデクサー(オプション)


動作圧力 最適動作には 5 x 10-5 Torr以下が望ましい
ビーム電圧 4,000 VDC
ビーム電流 0 ~ 750 mA 連続可変
最大電力 3 kW
冷却水 1.5 gpm
圧力差 25 psi 最小
最高ベークアウト温度 230℃ (446℉)
ルツボ容量 2.24 cc x ルツボ3台、4台または5台





- マルチルツボ回転タイプ Multiple Crucible Rotary e-Guns



動作
マルチルツボEガンの動作原理は、以下の利点を備えたシングルルツボソースと同一です:
・ 蒸着材の大量供給
  各ルツボに同一のソース材料が充填されている場合、蒸発量が増やせます。

・ 最大8種類の材料蒸着
  各ルツボにそれぞれ異なる材料を充填し、任意のシーケンスで蒸着が可能です。
  蒸着速度はシングルルツボのモデルと同じです。一回につき一つのルツボを加熱します。
  シングルフィラメントは固定で、駆動ハンドルでルツボヘッドを索引して位置へ着けます。
  このことにより、常に真空チャンバー内の全く同じ位置が蒸着発生源となります。
  使用していないルツボは、磁極部組で加熱中のルツボから遮蔽され、ルツボ間のコンタミが解消されます。

高真空対応
メタルおよびエラストマシール、測定基準圧: 2x10-9 Torr

交換可能ルツボ
メインのルツボホイールは、全ソース部を分解しなくてもソース先端から取り外し可能です。

スペシャル
いずれのマルチルツボEガンも単体または背合わせの形態で大径CFフランジまたは長方形PyraFlatフランジへ取り付け可能です。



動作圧力 最適動作には 5 x 10-5 Torr以下が望ましい
ビーム電圧 4,000 V
ビーム電流 0 ~ 750 mA 連続可変
最大電力 3 kW
冷却水 1.5 gpm
最高ベークアウト温度 120℃ (150℉)
ルツボ容量 2.24 cc x ルツボ4台、6台または8台

取り付け構成 → シングルルツボタイプ参照




- 3 kW ロッドフィード Eガン 3 kW Rod-Fed e-Guns

3 kW ロッドフィードEガン(フィードスルー付き)

3kWロッドフィードEガンの動作はとてもユニーク。
最大3/8"径の棒状蒸発源材料を、外付け直線フィードスルーを使ってルツボへ連続供給します。
膜圧は速度モニターを使って制御することもできます。さまざまなフランジに取付け可能です。

UHV対応
メタルシールド、完全UHV対応、測定基準圧:2×10-11 Torr

取付けと構成
・ 3 kW ロッドフィードEガンは、材料によっては上下逆さの位置も含め、どのような方向でも取付け・動作できます。
・ 上図のロッドフィードEガンは2.5" 外径チューブへ取り付け可能です。
・ Eガン周囲を囲むための低温隔壁もオプションでご用意。
・ 複数のロッドフィードEガンを並べて取付け可能。
・ 特注設計対応可。

Kセル交換
Eガンはカーボン、ニオブ、シリコンなどの難しい材料も蒸発可能。
フィードロッドEガンは必要なユーティリティと機械フィードスルーを備え、4.5インチ外径のCF取付けフランジに設置されており、
Varian/Intevac、Perkin-Elmer、Riber、EPI やVG systemsの既存のKセル炉の直接代替え品として利用可能です。


動作圧力 最適動作には 5 x 10-5 Torr以下が望ましい
完全UHV対応設計
ビーム電圧 4,000 V
ビーム電流 0 ~ 750 mA 連続可変
最大電力 3 kW (4 kV時)
冷却水 1/2 gpm
最高ベークアウト温度 230℃ (446℉)
フィードスルー要求 2 x 7 kV 50A
ルツボ容量 1/4" または 3/8" 径ロッド
Eガンサイズ 2.25" 径 x 2.95" L

取り付け構成 → シングルルツボタイプ参照
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