株式会社アールデック


電源 & スイープコントローラ Power Supplies & Sweep Controllers


3kW 電源 3kW Power Supply

モデル150-0030電源のデザインを一新、アップグレードした新モデル150-0040 3 kW Eガン電源です。
全制御が携帯型リモコン(電圧&電流計測器も含む)上に遠隔設置されています。
閉ループフィラメント制御とビーム安定化で、低放出率で優れたエバポレーションが可能です。
速度モニターまたは信号モニターでマニュアルまたはリモート操作できます。
インターロックで流水停止、真空不良、または高電圧アクセス時の電源オフを確実に行います。


3 kW 電源
(19" W x 10.5" H x 18" D)

リモートコントロール装置
(3.5" W x 4.5" H x 2.25" D)


入力電力 208/240V, 50/60Hz, 単相, 30A
注) 通常動作時の最大入力電流は23A。
アーク放電中、Eガンソースは線電流20Aまで引き込み可能。
出力 高電圧 5,000 V (-) DC, 非安定化
出力 電流 可変 0 ~ 600 mA, フィードバック制御で安定化
出力 ガンフィラメント 0 ~ 6 VAC (両フィラメントリード, 高電圧・25 A時)
計測 二重目盛, 0 ~ 10 kV および 0~1 A, フルスケール;
精度 ± 2% フルスケール
インターロック インターロック電源 (24 VDC) PSキャビネット背面端子板に接続
Eガン フィラメントリード長 10フィート
リモートコントロールケーブル長 15フィート
パネルスペース 19" W x 10.5" H x 18" D
重量 180 lbs

3kW 電源とスイープコントローラ
モデルNo. 詳細
150-0040 3kW 電源
180-1030 ビームアジャスト
XYS XYビームスイープコントローラ
XYCS 円形ビーム スイープコントローラ





SEB Eガン 6-15 kW スイッチモード電源 SEB e-Gun 6-15 kW Switch Mode Power Supplies

SEB-15 15 kW スイッチング電源

SEBシリーズEガン電源は高性能なスイッチモード電源です。
20 kHz以上で動作し、利用可能な最も信頼性の高いIGBTスイッチを使用しています。
SEB電源はあらゆる膜生産用途においてEガンの性能を最適化し、電源供給の信頼性を最大限に高めるようデザインされています。


FilChek フィラメントチェック
各SEB電源にFilChek機能を標準装備。
瞬時スイッチで、電源のフロントパネル上から素早く便利にEガン蒸発源フィラメントの状態をチェックできます。

マルチ出力
SEB電源は、最大3つのEガン蒸発ソースに連続または同時に電源供給し、操作可能なよう設計されています。
追加したいEガン用には、“プラグイン”Eガン制御モジュールが追加で必要です。

低蓄積エネルギー
アーク状態での利用可能エネルギー量を最小限に抑えながら、優れた出力レギュレーションを維持します。
これにより高速なアーク回復が可能となり、Eガンの操作、性能、信頼性を向上させました。

他の蒸発ソースとの互換性
SEB電源はサーミオニクスのすべてのEガン蒸発源はもちろん、他社製の蒸発ソースにも使用可能です。


Model No.
SEB-06
SEB-15
出力電力 6 kW 15 kW
出力電圧 0 ~ -10 kV DC 0 ~ -10 kV DC
出力電流 0 ~ 600 mA DC 0 ~ 1.5 A DC
出力レギュレーション
± 0.5%
リップル
1% RMS
入力電圧
208/240/380/415, 3相, 50/60 Hz
冷却
空冷式
計測
デジタルLCD
リモートインターフェース
背面上17ピンコネクタ (モニタリングおよび制御電源出力用)
BNC インターフェース
ダイレクトインターフェース(結晶速度コントローラ用)
CE準拠
対応
サイズ・重量 19" W x 8.75" H x 19" D ・ 60 lbs 19" W x 10.5" H x 19" D ・ 85 lbs





6-15 kW 電子ビーム電源 (テトロード管) 6-15 kW Electron Beam Power Supplies (Tetrode Tube)


・実績ある信頼性
・高電圧の調節が可能
・どの電圧設定でも同じ出力リップル
・空冷(オプションで水冷も可能)
・高速アーク消去
・厳しい排出規制
・マルチガンオペレーション内蔵

テトロード管電源

手持ち式リモコン



テトロード管電源
入力電圧 280/240 V, 3相, 50/60 Hz, 70 A 最大
出力電流 6 kW      10 kW    15 kW
0-800 mA   0-1 A     0-1.5 A
リップル ピーク間 100V以下
電流カットバックレベル 0.2 ~ 3 Aで調節可能
電流カットバック反応 100 msec以下
フィラメントコントローラ
入力電圧 280/240 V, 単相
一次制御 SCR, 位相制御
出力電圧 0200 V
出力電流 5A 最大
電流調整 2%以下
フィラメントトランスフォーマー
一次電圧 208 V, 単相
二次電圧 10 V
二次電流 70 A 最大
絶縁 二次電圧は一次およびコア電圧から25 kDで絶縁
コントロールパネル
リモートコントロールパネルには、電源ユニット操作、フィラメントコントローラおよび
スイープ発生器に必要なすべてのコントロールボタンとインジケータが装備されています。
携帯用リモコン装置
手持ち式のリモコンシャーシ(オプションで対応可)。
放出電流、放出のON/OFF、横方向スイープ振幅と位置、縦方向振幅と位置の制御が可能。
サイズ
コントロールパネル 9.5" W x 5.25" H x 20" D
コントロールシャーシ 8.25" W x 5.25" H x 20" D
重量 約 25 lbs
電源 22" W x 31.5" H x 32.5" D
重量 約 300 lbs
スイープ発生器
入力電力 115 V, 単相, 50/60 Hz
出力電力 デュアルチャンネル水平/側面、± 30 V, 2 A 最大
波形 三角形/円形
周波数 0-200 Hz





ハイパーUnimelt 円形スイープコントローラ Hyper-Unimelt Sweep Circular Controller



本スイープコントローラは円軌道でビームを駆動、変調してるつぼ全面にビーム掃引を行います。
5~50Hz変調で円振動数200Hz固定。
ラックマウント型で、全接続ケーブル付属です。


・円形出力
・調整電流
・振幅変調
・高周波数200Hz

モデルXYCS円形スイーパを用いれば、Eガンるつぼ全面を掃引でき、表面に目に見えるようなホットスポットを生じることなく均一な溶融が得られます。
XYCSスイーパは正弦波を供給して電子ビーム銃の縦横方向コイルを駆動します。
これらの正弦波は90°電気角度で分離され、その結果、電子ビームが円形パターンで溶融表面を駆動します。
縦横方向正弦波の変調を調節すると、円の直径が変化します。
三角形変調波が変調制御に加わると、結果として生じるビームは同心、線形に拡大・収縮します。


電気的仕様
波形 円形
最大周波数 200Hz
変調周波数 5 ~ 50 Hz
入力電圧 115 VAC, 単相, 50/60 Hz
出力 ± 30 ボルト, 2 アンペア (1チャンネル, 1ピークあたり)


機械的仕様
パネルサイズ 9.5" W x 5.25" H x 20.0" D
重量 20 lbs





ハイパーUnimelt 三角形スイープコントローラ Hyper-Unimelt Sweep Triangular Controller



Eガンの縦横方向コイル駆動用の三角波発生器です。
各チャンネルの周波数範囲は1~200Hzで、ピーク変調は± 2 アンペアです。
ラックマウント型で、すべての相互接続ケーブルを付属しています。


・三角形出力
・調整電流
・独立アンプ/周波数制御
・高周波数200Hz

高周波数用 新スイープコイル
昨今のEガン技術では60Hzを超えるスイープを可能としておらず、これらを超える周波数でスイープを試みた場合、ビームスポットサイズが縮小し、電磁石のコア(磁心)が飽和状態に達して60Hz超の周波数に応答できません。
ホットスポットとトンネル現象を防止するためには、スイープが60Hz以上でなければなりません。
サーミオニクスのハイパーUnimeltスイープなら、最大200Hzまで応答可能です。
これにより、クロムや石英などを昇華性物質のユーザーは、るつぼのスイープ領域全面への極めて均一な溶融温度を得ることができます。

詳細
モデルXYSスイーパは、電子ビーム銃の縦横方向コイル駆動用に設計されています。
2つのアウトプットは各々独立に変化し、電子ビームがるつぼ全面に渡りどこへでも位置づけ可能です。
このDCポジショニングに加え、コイルへの変調/周波数が可変で、蒸発物表面のビーム掃引が可能となっています。

ビーム位置とスイープ
電子ビーム銃は電磁石を使用してつぼにビーム位置を合わせ、ビームスイーパがこれらの電磁石に電流を供給します。
縦横の位置制御で、るつぼ面のどの場所にでもビーム衝突点位置を合わせることができます。
どちらか一方のコイルの電流を変更すると、ビームは直線を移動(トラバース)します。
トラバース振幅は電磁石へ運ばれる最大・最小電流によって決定されます。
両方のコイルの電流を同時に変えれば、蒸発物の全面に渡るビーム掃引が可能です。
スイーパから供給される波形は三角形で、そのため、電磁石の電流は最大から最小へある一定の速度で変化します。
その結果、電子ビームは走査軌道に沿ったすべてのポイントにおける時間を同じ時間費やします。
ビームスイープが両コイルに対して駆動すると、蒸発物全表面を均一に加熱します。


電気的仕様
波形 三角形
周波数 1 ~ 200Hz
入力電力 115 VAC, 50/60 Hz, 2 A 最大
出力電力 デュアルチャンネル、± 40 V, 2 A 最大


機械的仕様
パネルサイズ 9.5" W x 5.25" H (ラックマウント型)
筐体サイズ 8.25" W x 5.25" H x 20.0" D
重量 30 lbs





プログラム可能スイープコントローラ Programmable Sweep Controller


表示部(拡大)

Eガン用PSC-600プログラム可能スイープコントローラは、蒸着プロセスにおいてフレキシブルな制御を提供します。
マイクロプロセッサベースのコントローラで、プリセットプログラムを装備しており、ほとんどすべてのEガンソースへのセットアッププロセスも容易にします。
無線遠隔操作はオプションの拡張リモートIRポートで向上させることができ、コントローラの設置場所を問わず、
使い勝手よく真空システムの重要な機能を制御することができます。
コントローラは、ほとんどの電子ビーム蒸着システムの直接代替品としてまたはアップグレードに使用可能です。


・32個のプリセットパターン
・100個以上のプログラム可能パターン
・最大周波数600Hz
・フロントパネルまたはリモート操作
・PC対応ソフトウェア
・RS-232およびDeviceNetインターフェースポート
・ラックマウント型


制御プログラム仕様
波形 らせん、XY正弦波、三角波、矩形波
ポイント(512ポイントまで)とドウェルのプログラムが可能。
プリセットパターン数 32個
ユーザーインターフェース 押しボタン付きフロントパネルディスプレイ
表示器 真空蛍光グラフィックス
リモートコントロール 赤外線、ローカル(拡張リモートIRポート、オプション)
インターフェース種類 RS-232およびDeviveNet


電気的仕様
最大周波数 600 Hz
変調周波数 100 Hz
入力電圧 115/230 VAC (注文時に指定)
出力電圧 0 - 42 ボルト RMS
出力ワット 170ワット/チャンネル
安全保護装置 絶縁接点開閉、コマンドまたはタイムアウト機能で接点開路


機械的仕様
サイズ 16.75" W x 5.25" H x 10" D (19" ラックマウントアダプタ含む)
重量 18 lbs


Copyright(c)1988-2016 R-DEC Co.,Ltd. All Rights Reserved.