株式会社アールデック

回転導入機 ~ FRMシリーズ Standard Rotary Feedthroughs ~ FRM series

モデル: FRM-133-25

サーミオニクスではメタルシールの回転導入機をフルラインアップ!
業界最高の品質基準に従って設計・製造を行っています。
従来のデザインを基調にサーミオニクス製高精度導入機と同じ原理を用い、溶接ベローズとボールベアリングを使用した構造になっています。


回転導入機 FRMシリーズ
Model No. FRM-133-25 Model No. FRM-275-38
軸外径 1/4インチ (約 6mm) プローブ 軸外径 3/8インチ (約9.5mm) プローブ
取付フランジ ICF34 または ICF70 取付フランジ ICF70
360° 回転 360° 回転
手動または電動動作 手動または電動動作
ベローズシール ベローズシール
最高ベーキング温度 : 200℃ 最高ベーキング温度 : 200℃
トルクリミット : 150 oz-in トルクリミット : 1,100 oz-in
目盛 2° 刻み, 0 ~ 360° 目盛 2° 刻み, 0 ~ 360°
ボールベアリング 7個使用 ボールベアリング 8個使用
ポジションロック付き ポジションロック付き

オプション
・機械式カウンタ
・電動オプション(ステッピングモーター駆動、同期モーター駆動、モーターコントローラ、速度制御モーター駆動)



マグネットカップリング式 回転導入機 ~ FRMREシリーズ
Magnetically-Coupled Rotary Feedthroughs ~ FRMRE series

FRMRE-275-38/MS-SCC
単回転軸回転導入機(オプションのモーター駆動付きの例)


FRRMRE-275-75-38/MS-SCC
2軸回転 回転導入機(手動操作外軸とオプションの電動インナーシャフト付きの例)

希土類磁性シリーズ単軸および2軸回転駆動は非常に優れた長寿命のパフォーマンスを提供します。
UHV対応で、従来のベローズシールタイプ又はその他の回転導入機の置き換えに最適です。
PLDターゲットのクロッキング、ターゲットや基板の連続回転はもちろん、小型・高性能を要する用途にも適応可能です。
真空中にスライドシールもマグネットもないため、漂遊磁界は実質的にはほとんど存在しません。
真空中の電機子は、ステンレススチールおよび窒化ケイ素ベアリングの常磁性材料で作られ、
繰り返しの200℃でのベーキング(マグネットは外した状態で)にも対応できます。
真空外ベアリングは、潤滑油注入用に利用しやすい位置にあり、マグネット駆動部も簡単に取り外すことができます。


マグネットカップリング式 回転導入機
Model No. FRMRE-275-38 Model No. FRRMRE-275-75-38
3/8インチ 回転プローブ 3/4インチ および 3/8インチ 回転プローブ
取付フランジ ICF70 取付フランジ ICF70
ポジションロック付き手動つまみ 一方または両方の回転シャフトが電動化可能(オプション)
ポジションロック付き手動調節シャフト(径3/4インチ)
4,000,000回転/内部ベアリングの保守前 4,000,000回転/内部ベアリングの保守前
最高ベーキング温度 : 200℃ 最高ベーキング温度 : 200℃
機械トルクリミット : 150 oz-in 機械トルクリミット : 150 oz-in
最高速度 : 500 rpm -
ベーキング時、ネオジウム鉄ボロン磁気駆動の取外し可能 ベーキング時、ネオジウム鉄ボロン磁気駆動の取外し可能

FRRMRE-275-75-38/MS-SCC
(オプションで0.38"シャフトに速度制御モーター駆動を取り付けた例)

オプション
・電動オプション(ステッピングモーター駆動、同期モーター駆動、モーターコントローラ、速度制御モーター駆動)



高精度回転導入機 ~ FPRMシリーズ Precision Rotary Feedthroughs ~ FPRM series

FPRM-275-28 (オプションのステッピングモータ付きの例)

高精度回転導入機は一般的に試料またはプローブの原線を規定するために用いられます。
360℃連続回転し、XYZマニピュレータの上部やステージに取付けられ極軸の自由を確保します。
精密角度方向が必要な時には別々に使用することも可能です。
すべて、オプションのバックラッシュ防止付きステッピングモーター駆動が選択可能です。


高精度回転導入機 FPRMシリーズ
FPRMシリーズ
試料回転用
外径1/4インチ または 3/8インチ プローブ
取付フランジ ICF34 または ICF70
360° 連続回転
手動または電動操作
ベローズシール
読み値 0.1°, 目盛 1° 刻み
トルクリミット : 1/4" プローブ, 150 oz-in
        3/8" プローブ, 1,100 oz-in
最高ベーキング温度 : 200℃
ポジションロック付き
最高速度 : 500 rpm
モーション仕様 角度分解能 : < 0.1°
        シャフト振れ : 0.005"
読み値 仕様   標準尺度 : 1° 目盛
        バーニヤによる微調整 : 1分

モデル FPRM-133-25

モデル FPRM-275-38

オプション
・微調整ウォーム駆動(高精度ウォームギアを追加、バックラッシュ防止ウォームドライブ、手動つまみ)
・電動オプション(高精度ウォームギア付きステッピングまたは同期モーター駆動、モーターコントローラ)



高精度中空回転導入機 ~ WOAシリーズ Precision Open-Axis Rotary Feedthroughs ~ WOA series

WOA-550/FA/W (オプションの微調整ウォーム駆動付きの例)

WOA中空回転導入機はユニークな特長と卓越した性能を兼ね備えたオールメタルシール回転導入機です。


中空軸
WOA中空回転導入機には、約19mmの回転中空軸(穴径約13mm)がついています。
本体上端部には、ICF34固定フランジがついています(オプションでICF70仕様もございます)。

精密さ
位置決め用途において0.005°未満のバックラッシュ(負荷なし)で0.003°より良い分解能を示す試験結果が得られています。 

読み値
標準尺度: 1°目盛
/FAは、バーニヤスケール:1分

Model No. WOA-550 中空回転導入機 Model No. WOA-500/B 高精度回転導入機
取付フランジ ICF70 取付フランジ ICF70
上部フランジ ICF34 -
外径 3/4インチ ステンレススチール管 外径 3/4インチ ステンレススチール管
フィードスルーへの穴径13mmの中空軸 中空軸なし

WOA-550 と WOA-550/B

オプション
・本体上端部のフランジサイズ
・微調整ウォーム駆動(高精度ウォームギアを追加)
・電動オプション(高精度ウォームギア付きステッピングまたは同期モーター駆動、モーターコントローラ)
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