株式会社アールデック

イオンポンプ Ion Pumps
イオンポンプの開発から製造まで30年の経験と実績

■ イオンポンプ、電源ユニット、アクセサリーをほぼ完全にラインナップ
■ 最速で信頼性の高いイオンポンプ
■ サーミオニクスのイオンポンプはVarian® およびPerkin-Elmer®製の電源ユニットと100%互換性あり

排気速度
0.2L/sec. ~ 1,000L/sec.

モデル
・ダイオード構造
  標準    (IPシリーズ)
  希ガス(D-I) (NPシリーズ)
  水素    (HPシリーズ)
・三極管構造
  標準    (TPシリーズ)
・コンボ真空ポンプ
  希ガス(D-I)イオンポンプ、チタン昇華ポンプ(TSP)
  およびクライオ・シュラウドの組み合わせ

・連続でしかも汚染のない排気が可能。
・1ミクロンから2x10-11Torr(実測)の範囲で信頼性あり
・逆流しない
・組み立て状態で300℃までベーキング可能
・マグネット外した状態で450℃までベーキング可能
・独自の真空ゲージのように動作可能

構造
・全てのポンプは超高真空基準に厳密に従って製造
・ポンプ本体、フランジおよびエレメント陽極は304ステンレス製
・高品質アルミナ製ダブルリエントラント電気絶縁体、スパッタシールド付き
・高強度フェライトのポンプ磁石

アプリケーションに最適なポンプを選定
・フルライン真空メーカーとして、サーミオニクスは最高のポンプをご提供します。
・イオンポンプ全品製造しています。
・サーミオニクスは特殊なアプリケーション用にポンプの特別設計も行っています。

電源ユニット、ケーブル
5種類の電源ユニットモデル;ポータブルタイプからバッテリー内蔵型、そして大型で信頼性のある1.0A出力の電源ユニットで1,000 L/sec.イオンポンプの起動と動作が可能なものまで幅広く提供しています。


フロントパネル: モデルNo.PS-1000(N)
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