株式会社アールデック

コンボ・真空ポンプ Combo-Vac Pumps

サーミオニクスのコンボ真空ポンプはノーブルダイオード(D-1)イオンポンプであるチタン昇華ポンプ(TSP)と
超低温側板を組み合わせて一つにしました。
この結合により、高性能な真空チューブやX線源等の処理のための理想的な超高真空排気特性が得られます。



・ 多くの異なるガスを排気する必要がある真空アプリケーションに最適です。
・ コンボ真空ポンプは、選択的排気のために3つの標準コンポーネンツ;イオンポンプ、冷却ユニット、チタン昇華器を
 1つのユニットに統合しました
・ 高速フィラメントタイプのチタン昇華器/バッフル組が定電流設定で確実に繰り返しよく動作します。
 4つに分離したらせん状チタン合金フィラメントが昇華部組に組み込まれ、120時間を超す連続排気が可能です。
  循環操作すると昇華部組の寿命が比較的延びます。
・ 取り外し可能高圧フィードスルー付き交換可能ノーブルイオンポンプ
・ 二極管、水素二極管、または三極管素子がさまざまなサイズで提供可能です。
・ 排気ポートは金属シールフランジで固定され、ベークアウトでブランクした状態で出荷されます。
・ 独立電源供給で、昇華器とノーブルイオンポンプの選択操作が可能です。
・ ステンレス構造
・ 内部ベーキングヒーター
・ 組み立てとサポート用にポンプ本体に取付けブラケットが取り付けてあります。
・ 液体窒素/水 隔壁標準
・ どの位置でも操作可能

コンボ真空ポンプ
モデルNo. COV-500 COV-750 COV-1000 COV-2000
N2流速数, L/sec (昇華器 & イオンポンプ) 500 パルス 1000 1000 2000
エアー流速数, L/sec (イオンポンプ) 30/60 120 220 400
最大アルゴン流速, L/sec (イオンポンプ) 7 28 56 112
昇華器コントロールユニット PS-500 PS-500 PS-500 PS-500
イオンポンプコントロールユニット PS-100 PS-350 PS-350 PS-1000
内部ヒーター数 2 4 4 8
UHV フランジサイズ(内径"/外径") 6.0/8.0 6.0/8.0 6.0/8.0 6.0/8.0
基板冷却材 液体窒素 液体窒素 液体窒素
重量 (ポンド) 85 130 200 304

注) 現在、チタン材料が不足しているため、ノーブルダイオードポンプの代替えとして標準ダイオードか三極管ポンプを推奨します。
Copyright(c)1988-2016 R-DEC Co.,Ltd. All Rights Reserved.