株式会社アールデック

ゲージ&コントローラー Gauges & Controllers


MATCHED™ TC Gauges
サーミオニクスの熱電対真空計量管はそれぞれ個々に校正されます。
各管は、ゲージコントローラーを再校正する必要なしに管交換ができるよう、他の同モデルの管一つ一つと同様に動作するよう適合されます。
メーカーの種類によっては管が適合しないものもありますが、サーミオニクスのどの管も適合“MATCHED”します。


熱電対真空ゲージ Thermocouple Vacuum Gauges

熱電対真空ゲージは、複数のモニタリングやアプリケーション制御、そして一般的な実験に最適な精度で経済的な真空圧測定方法を提案します。
これらのゲージの操作簡易性、低コスト、特有の耐久性は実績のある信頼性とメンテナンスフリーな広汎用性へとつながります。
サーミオニクスは厳しい科学的、工業的および工程管理用途に適するさまざまな熱電対ゲージを提供します。
3つの基本ユニットはコスト、材料、電源供給要求の面からの選択肢があります。
特殊範囲や動作条件を満たすよう、そして他社製品との互換性を供するよう、そのほかのモデルもご用意しています。
チューブに使用されている全材料は真空対応で、適度な温度と環境要件を満たしています。
環境条件に対する高温逸脱や高抵抗を可能にするためオプション材料が利用可能です。


・ 各チューブを個々に校正
・ 各チューブそれぞれが適合
・ ミルスペックモデル
・ 高速応答時間 1秒以下
・ 動作範囲:1 mTorr - atm 測定範囲:1 mTorr - 2,000 mTorr
・ 信頼性が高く、丈夫で低価格
・ 厳格な品質管理基準
・ 他社製管と互換性あり(リファレンスガイド表参照)
・ 複数ゲージ用コントローラー

標準; ニッケルメッキ鉄構造および1/8”NPT真空接続

モデルNo.
特長・詳細
TG-500M Varian 531® の直接代替器。
貴金属合金熱電対、優れた感度と再現性。
一般用途向け主力製品。様々なガスに簡単校正。
TG-6343M 通常の使用下方法で高速応答、長時間安定、低フィラメント汚染。
低供給電流要求。バッテリー動作、注入、プラズマシステムを含むアプリケーション。
TG-6343/004M チューブ間の高度な再現性を実現するため、さらに厳しい精度で製造されている以外はTG-6343Mと同じ。
TG-7822M しっかり安定した応答。ミルスペック耐振性。低フィラメント汚染率。
TG-100 拡張範囲、低内部抵抗、拡張応答時間、過酷な環境下での耐久性強化。
TG-300M 拡張範囲、低内部抵抗、拡張応答時間。
TG-100の高度耐性版。

オプション  
/xx ユーザー指定真空フィッティング接続
(ConFlat® フランジ、VCR® ガスフィッティング、ISO/KF® フィッティング、急速着脱など)
/KF-16 ISO/KF-16フランジ付き計量管
/KF-25 ISO/KF-25フランジ付き計量管
/SS 全ステンレス構造
上記表の熱電対真空計はステンレス製あり。
注文の際は、標準管のモデルNo.の末尾に/SS(例えば、TG-500M/SSのように)を追記。




▼ クロスリファレンスガイド同等比較表
(リストに記載のないチューブについては、別途お問い合わせください。)

サーミオニクス
モデルNo.
Ion Equip.™
Hughes®
Hastings® Veeco® Varian/NRC® CVC® MKS® Granville-Phillips®
TG-100     DV-1M        
TG-300M   DV-3M          
TG-500M       531   TCIA  
TG-6343M TG-6343            
TG-6343/004M TG-6343/004       GTC-004    
TG-7822M TG-7822M            


▼ 標準管 Reference Tubes
標準管は熱電対真空ゲージコントローラーまたは他の計測電子機器の校正に用いられます。
設定した圧力で正常なチューブ性能を疑似出力するため、電子機器の校正や
システム機能のトラブルシューティングの迅速で正確な方法となります。
標準モデルは工場出荷時に最適な管電流の入出力に設定されます。

モデルNo.
詳細
TGR-500 TG-500M校正用
TGR-6343 TG-6343M校正用
TGR-6343/004 TG-6343/004M校正用
TGR-7822 TG-7822M校正用

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