Products

製品紹介

高真空蒸着装置 EB1900

製品情報

概要

オプションにより、カスタマイズ可能な高真空蒸着装置EB1900は、ターボ分子ポンプ排気系を標準装備した高真空排気システムに、E型電子銃や抵抗加熱蒸発源を搭載可能なR&Dに最適な蒸着装置です。

特長
  • 前面開閉式を採用
    ・基板交換、蒸着試料交換が容易
  • ターボ分子ポンプ排気系
    ・ターボ分子ポンプがクリーンな真空を提供
    ・ドライポンプ(粗引き)との組み合わせで排気系のドライ化が可能。(オプション)
  • 豊富なオプション
    ・各種電子銃、抵抗加熱などの蒸着源、膜厚モニタや蒸発制御機器の組み合わせで幅広い仕様に対応
用途
  • 研究用小型蒸着装置(電極膜・レンズコーティング・電子顕微鏡のレプリカ製作など)
  • 真空保管庫
  • 真空中での熱処理、その他の実験
  • 薄膜物性、表面分析、ガス分析などの研究
仕様
到達圧力7×10-5Pa 以下
排気ポンプ350L/s ターボ分子ポンプ
200L/m ロータリーポンプ
チャンバ (mm)400W × 400D × 780H (93L)
架台 (mm)1100W ×700D × 1800H
用力電気φ3 200V 30A (M5圧着端子)
2L/min (チャンバ冷却用) (Rc3/8継ぎ手)
ガスN2 : 0.05Mpa (ベント用)
Air : 0.3Mpa (水追い出し用) (Rc 1/4継ぎ手)
排気ポートNW25フランジ (RP排気口)
寸法図

PAGETOP