バタフライバルブ コントロールシステム Series 61.5
製品情報
主な用途
- SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御および真空封止用
- 特に高速で高度なプロセスに最適 (例：CVD)
特長
- ボディ材質：硬質アルマイト加工アルミ or SUS
- コンパクトデザイン
- 高速動作
- 極めて短い制御応答時間
- ポジションインジケータ付き
- 少ないガス流量で高圧までの正確な圧力制御
- メンテナンスが簡単
| リーク量 | バルブボディ | ＜1・10-10Pam3s-1 |
| バルブシート | ＜1・10-10Pam3s-1 |
| 使用圧力範囲 | 1・10-6Pa to 0.16MPa(abs) |
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | ≦0.16MPa |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦30hPa |
| 第１回サービスまでのサイクル数 | 200,000 |
| 許容温度 | バルブボディ | ≦150℃ |
| 手動アクチュエータ | ≦80℃ |
| 圧空アクチュエータ | ≦80℃ |
| 電磁弁 | ≦50℃ |
| リミットスイッチ | ≦50℃ |
| シール | ボンネット | FKM (Viton) |
| ゲート | FKM (Viton) |
| 軸シール | ベローズ |
| 取付方向 | 自由 |
製品一覧
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