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製品紹介

バタフライバルブ コントロールシステム Series 61.5

製品情報

主な用途
  • SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御および真空封止用
  • 特に高速で高度なプロセスに最適 (例:CVD)
特長
  • ボディ材質:硬質アルマイト加工アルミ or SUS
  • コンパクトデザイン
  • 高速動作
  • 極めて短い制御応答時間
  • ポジションインジケータ付き
  • 少ないガス流量で高圧までの正確な圧力制御
  • メンテナンスが簡単
リーク量バルブボディ<1・10-10Pam3s-1
バルブシート<1・10-10Pam3s-1
使用圧力範囲1・10-6Pa to 0.16MPa(abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧≦0.16MPa
バルブを開ける時の許容最大差圧≦30hPa
第1回サービスまでのサイクル数200,000
許容温度バルブボディ≦150℃
手動アクチュエータ≦80℃
圧空アクチュエータ≦80℃
電磁弁≦50℃
リミットスイッチ≦50℃
シールボンネットFKM (Viton)
ゲートFKM (Viton)
軸シールベローズ
取付方向自由
製品一覧
  • NW40バタフライバルブコントロールシステム
    型式:61532-KEGG (RS232)

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  • NW50バタフライバルブコントロールシステム
    型式:61534-KEGG (RS232)

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  • ISO-F63バタフライバルブコントロールシステム
    型式:61536-PEGG (RS232)

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  • NW40バタフライバルブコントロールシステム
    型式:61532-KEGC (Logic)
  • NW50バタフライバルブコントロールシステム
    型式:61534-KEGC (Logic)
  • ISO-F63バタフライバルブコントロールシステム
    型式:61536-PEGC (Logic)

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