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製品紹介

ハイエンド白色光干渉型顕微鏡 ContourGT-X

製品情報

概要

ContourGT-X は、研究室での研究や製造工程管理向けに開発された、ハイエンド向けハイパフォーマンスな非接触表面形状測定機能を提供します。
長年に渡る白色光干渉計の開発・設計実績に基づきの開発された代10世代目となるこの計測システムは、業界最大の視野の最高垂直解像度を可能にします。
また、全自動設計、大型電動X、Y、Zステージ、ブルカー独自のチップ/チルトヘッドを搭載し、300mm対応の大型基板の自動測定に対応するハイエンドモデルです。

特長
  • 64ビット対応
  • 操作性の向上
  • 充実したデータレポート機能
  • 2000枚を超えるデータステッチング計測の実現
  • 膜厚計測、加熱、冷却環境で測定可能とした対物レンズラインナップ

など、研究開発から生産管理にいたる様々な用途に答える形状情報を、高精度かつ非接触3次元で高速に提供します。

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