国内メーカー
Domestic Suppliers
- 研究開発用特注真空装置の設計、製作、改造
- 分析装置、 薄膜作製装置
- マニピュレータ、各種フィードスルー
- 装置の移設
株式会社イーエルシー
- Lab VIEWによる真空装置の制御、計測システム
- 既存手動真空装置の自動制御化
- 特殊電気炉の制作
- ゲートバルブ(バイトンシール､オールメタルシール）
- 各種真空バルブ(ストレートスルー､ KFフランジ付）
- スクロール・ロータリーポンプ
- 真空計
- 真空バルブ
- ターボ分子ポンプ
- クライオポンプ
- 各種真空ポンプ、真空バルブ、真空計
- 質量分析計、真空部品
- リークディテクタ
- ドライ真空ポンプ 多段ルーツ型、スクリュー型、 省エネ・プロセス対応、大排気量対応
- メカニカルブースターポンプ
- 水封式ポンプ
- バラトロン高精度圧力測定器
- 自動圧力・流量制御器
- 圧力（真空度）校正装置
- 質量分析計及び関連機器
- マスフローコントローラ/メータ
- CITデジタル制御
- ASTeX ガス生成・オゾン発生
- RF/DC電源
- グランビルフィリップス 各種真空計
- 真空計
- 膜厚コントローラ
- 質量ガス分析計
- 独国 Pfeiffer Vacuum社製品
- 各種真空ポンプ、真空計
- TMP排気システム
- ターボ分子ポンプ
- ヘリウムリークディテクタ
- オイルフリースクロールバキュームポンプ
- スクロールコンプレッサ
- エアコンプレッサ
- マスフローコントローラ
- 自動圧力・流量制御器
- 高真空対応NEG(非蒸発型ゲッター)ポンプ CapaciTorr
- 超小型UHVポンプ NEXTorr
- アルカリ金属ディスペンサー
- グラファイト
- 各種バルブ
- 継手
- 超高真空電流導入端子
（BNC,SHV,MHV,N,SMA多ﾋﾟﾝ形,超高電圧 など） - セラミックス絶縁フランジ
- セラミックス対応特注品
- サファイヤビューイングポート
- サファイヤ基板
- セラミックス基板
- 超高真空用赤外線導入加熱システム
- ラピッドアニール赤外線導入加熱システム
- 集光照射式赤外線真空炉
- 均温熱処理装置
- 米国Extrel社製・高分解能四重極質量分析計
- 米国LKテクノロジーズ社製・HR-EELS、LEED/AES、Mini-CMA他
- その他各種分光光度計、分析機器、マグネトロンスパッタ源、RGA用QMS等
- 角度分解光電子分光装置(ARPES)
- 硬X線光電子分光装置(HAXPES)
- NanoESCA
- 走査型トンネル顕微鏡(STM)
- 原子間力顕微鏡(AFM)
- 走査型電子顕微鏡(UHV-SEM)
- 走査型オージェ電子顕微鏡(SAM)
- 光電子顕微鏡(PEEM)
海外メーカー
Overseas Manufacturers
- RHEED解析システム
- ウエーハ歪み・応力モニタ
- ウエーハ温度モニタ
- MBE装置
- エフュージョンセル
- バルブド・クラッカーセル
- UNI-BulbTM RF プラズマソース(窒素用)(酸素用)
- ヒーテッドビューポート
- リトラクタブルセル
- 半球型電子エネルギーアナライザ
- X線光電子分光法用X線源
- イオン銃
- 校正リークスタンダード
- 超伝導接合形成用高真空蒸着装置
- マイクロ波ダイヤモンド合成装置
- Eガン
- ロータリーステージ
- イオンポンプ、マニピュレータ
- フィードスルー
- スパッタリングターゲット
- 中性子ガイド（スーパーミラーコーティング）
- 中性子ガイドシステム
- 中性子光学機器
- 中性子散乱用デバイス