About us

取扱メーカー

国内メーカー

Domestic Manufacturer

  • 研究開発用特注真空装置の設計
  • 制作、改造、分析装置、 薄膜作製装置
  • マニピュレータ、各種フィードスルー
  • 装置の移設

株式会社イーエルシー

  • Lab VIEWによる真空装置の制御、計測システム
  • 既存手動真空装置の自動制御化
  • 特殊電気炉の制作
  • スイスVAT社
  • ゲートバルブ(バイトンシール、オールメタルシール)
  • 各種真空バルブ(ストレートスルー、 KFフランジ付)
  • スクロール・ロータリーポンプ
  • 真空計
  • 真空バルブ
  • ターボ分子ポンプ
  • クライオポンプ
  • 各種真空ポンプ、真空バルブ、真空計
  • 質量分析計、真空部品
  • リークディテクタ
  • ドライ真空ポンプ 多段ルーツ型、スクリュー型、 省エネ・プロセス対応、大排気量対応
  • メカニカルブースターポンプ
  • 水封式ポンプ
  • バラトロン高精度圧力測定器
  • 自動圧力・流量制御器
  • 圧力(真空度)校正装置
  • 質量分析計及び関連機器
  • マスフローコントローラ/メータ
  • CITデジタル制御
  • ASTeX ガス生成・オゾン発生
  • RF/DC電源
  • グランビルフィリップス 各種真空計
  • 真空計
  • 膜厚コントローラ
  • 質量ガス分析計
  • 独国 Pfeiffer Vacuum社
  • 各種真空ポンプ、真空計
  • TMP排気システム
  • ターボ分子ポンプ
  • ヘリウムリークディテクタ
  • オイルフリースクロールバキュームポンプ
  • スクロールコンプレッサ
  • エアコンプレッサ
  • マスフローコントローラ
  • 自動圧力・流量制御器
  • 高真空対応NEG(非蒸発型ゲッター)ポンプ CapaciTorr
  • 超小型UHVポンプ NEXTorr
  • アルカリ金属ディスペンサー
  • FTIR
  • ラマン分光システム
  • AFM
  • 白色光干渉型顕微鏡
  • 触針色プロファイリングシステム
  • トライボロジー/メカニカル試験機
  • グラファイト
  • 各種バルブ
  • 継手
  • 超高真空電流導入端子
    (BNC,SHV,MHV,N,SMA多ピン形,超高電圧 など)
  • セラミックス絶縁フランジ
  • セラミックス対応特注品
  • サファイヤビューイングポート
  • サファイヤ基板
  • セラミックス基板
  • 超高真空用赤外線導入加熱システム
  • ラピッドアニール赤外線導入加熱システム
  • 集光照射式赤外線真空炉
  • 均温熱処理装置
  • 米国Extrel社・高分解能四重極質量分析計
  • 米国LKテクノロジーズ社・HR-EELS、LEED/AES、Mini-CMA他
  • その他各種分光光度計、分析機器、マグネトロンスパッタ源、RGA用QMS等
  • 角度分解光電子分光装置(ARPES)
  • 硬X線光電子分光装置(HAXPES)
  • NanoESCA
  • 走査型トンネル顕微鏡(STM)
  • 原子間力顕微鏡(AFM)
  • 走査型電子顕微鏡(UHV-SEM)
  • 走査型オージェ電子顕微鏡(SAM)
  • 光電子顕微鏡(PEEM)

海外メーカー

Overseas Manufacturer

  • RHEED解析システム
  • ウエーハ歪み・応力モニタ
  • ウエーハ温度モニタ
  • MBE装置
  • エフュージョンセル
  • バルブド・クラッカーセル
  • UNI-BulbTM RF プラズマソース(窒素用)(酸素用)
  • ヒーテッドビューポート
  • リトラクタブルセル
  • 半球型電子エネルギーアナライザ
  • X線光電子分光法用X線源
  • イオン銃
  • 校正リークスタンダード
  • 超伝導接合形成用高真空蒸着装置
  • マイクロ波ダイヤモンド合成装置
  • Eガン
  • ロータリーステージ
  • イオンポンプ、マニピュレータ
  • フィードスルー
  • スパッタリングターゲット

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