金単結晶基板作製装置 867DAG
メーカー名：株式会社アールデック, 株式会社エイブイシー
製品情報
特長
均熱性の良い加熱機構と蒸着レートを制御することにより、マイカ基板上に金単結晶膜を
成膜する事ができます。
また、バッチ式のシステムにより、一度に複数枚の基板を簡単に作製する事が可能です。
仕様
| 基板加熱 | 角型輻射加熱機構 |
| 基板ホルダー方式 | 角型スライド方式 |
| 基板枚数 | 10mm×10mm：21枚 10mm×20mm：12枚 |
| 基板シャッター | 手動式 |
| 蒸発源 | 抵抗加熱式 3源ポートタイプ |
| 到達圧力 | 10-6Pa台 |
| 膜厚モニター | 水晶振動式 |
| オプション | 剥離防止処理ユニット |