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製品紹介

金単結晶基板作製装置 867DAG

製品情報

特長

均熱性の良い加熱機構と蒸着レートを制御することにより、マイカ基板上に金単結晶膜を
成膜する事ができます。
また、バッチ式のシステムにより、一度に複数枚の基板を簡単に作製する事が可能です。

仕様
基板加熱角型輻射加熱機構
基板ホルダー方式角型スライド方式
基板枚数10mm×10mm:21枚
10mm×20mm:12枚
基板シャッター手動式
蒸発源抵抗加熱式 3源ポートタイプ
到達圧力10-6Pa台
膜厚モニター水晶振動式
オプション剥離防止処理ユニット

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