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計測用装置

• RHEED解析システム kSA400
• リアルタイム基板表面温度モニタ kSA BandiT
• マルチコンタクトデバイス評価装置　697MNK
• 非接触型シート抵抗測定器　Delcom 20J3
• プラズマ制御装置【堀場エステック製品】
• 深紫外LED製造装置用ウェハ表面温度モニタ
  DUV-BandiT
• MOCVD用in-situひずみ・応力・温度・反射率・膜厚測定システム　kSA ICE