計測用装置
- RHEED解析システム kSA400
- リアルタイムウェハ温度モニター kSA BandiT
- kSA MOS リアルタイム基板ひずみ・応力モニター
- ひずみ・応力・反り高さマッピングシステム
kSA MOS Ultra-Scan - MOCVD用in-situひずみ・応力・温度・反射率・膜厚測定システム kSA iCE
- 非接触シート抵抗測定器(型式：Delcom 20J3)
- 深紫外LED製造装置用ウェハ表面温度モニタ
DUV-BandiT - DUV-VIS-NIR分光エリプソメータ SENresearch 4.0platdorm
- 赤外分光エリプソメータ SENDIRA
- In-situ用分光エリプソメータ SE801
- マルチコンタクトデバイス評価装置 697MNK