Vacstage 超高真空対応マニピュレーター
直線移動機構
回転導入機構
マニピュレーター
トランスファー
- マグネットフィードスルー AMF-275
- 2軸回転マグネットフィードスルー AMFW-275
- マグネットフィードスルー AMF-133
- ラック&ピニオンフィードスルー ALP
- サンプルトランスファー AST
- ベローズニップル AAN
ウォーブルスティック
ビューポート
シャッター/スクリーン
アクセサリー
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