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製品紹介

i-GONIOシリーズ/バーチャルシャフト2軸Type

メーカー名：株式会社アールデック

製品情報

特長
  • X/Y/Z/θステージとの組み合わせにより6軸タイプマニピュレーターに対応
仕様
ステージ構成チルト回転/ 面内回転
冷却到達温度12K
チルト範囲-5°～ 60°
面内範囲±90°
チルト角度分解能0.05°（片押し時）
面内角度分解能0.2° （ 片押し時）

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