ビューポート AOV 製品情報 特長 窓材:合成石英窓材のみの交換が可能レーザー光の導入に最適 許容リーク量≦1.33×10-9Pa・m3/secOリング部除く真空シール方式バイトンOリング許容加熱温度≦150℃窓材質合成石英 仕様 型式A接続フランジB内径(㎜)C(㎜)重量(Kg)AOV-275ICF70-FHΦ3015.70.3AOV-4ICF114-FHΦ63211AOV-6ICF152-FHΦ98231.7