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製品紹介

中空直線導入機 ALMB

各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。

製品情報

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中空型:内径Φ16㎜
  • 直進力:150N
  • 分解能:0.1㎜
  • 取付場所を選ばないコンパクト設計
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
真空シール方式溶接ベローズ方式
駆動方式ネジ式
許容加熱温度≦200℃
直進力150N
仕様
型式Z軸移動距離(㎜)
Z軸移動精度(㎜)
A接続フランジ
B移動フランジ
C
(㎜)
重量
(Kg)
ALMB-133/3030
0.1
ICF34-FH
ICF34-FT
91~1210.6
ALMB-133/5050
0.1
116~1660.7

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