ドライ真空ポンプ SDE Series
メーカー名：樫山工業株式会社
製品情報
特長
- 縦型スクリューや特殊材料による高い耐食性
- 独自のスクリュー形状で省エネを実現
- 多様なラインナップで全プロセスへ対応
仕様
最大排気速度5,000 L/min未満
| 仕様/型式 | SDE90X | SDE120TX | SDE200 | |
| 最大排気速度[L/min]*1 | 1,300 | 1,500 | 3,300 | |
| 到達圧力[Pa]*1 | 1.3 | |||
| 電源電圧(50/60Hz) | 3相AC200-220V,380-480V | |||
| 消費電力(kW)*2 | 1.3 | 2.8 | 2.7 | |
| 外観寸法[㎜]*3 | L | 690 | 930 | |
| W | 370 | 400 | ||
| H | 501 | 500 | ||
最大排気速度5,000 L/min以上
| 仕様/型式 | SDE303X | SDE603X | SDE1203TX | SDE20N12TX | SDE30N20 | SDE60N20 | |
| 最大排気速度[L/min]*1 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | |
| 到達圧力[Pa]*1 | 0.5 | ||||||
| 電源電圧(50/60Hz) | 3相AC200-220V,380-480V | ||||||
| 消費電力(kW)*2 | 1.5 | 1.6 | 3.2 | 3.3 | 3.7 | ||
| 外観寸法[㎜]*3 | L | 900 | 1000 | 1000 | 1080 | ||
| W | 400 | 450 | 450 | 515 | |||
| H | 905 | 1000 | 950 | 950 | |||
*1）N2パージ未使用時の値です。
*2）到達運転時の消費電力概略値です。
*3）パッケージ寸法については外観図をご請求ください。
※海外規格対応についてはお問合せください。
また、仕様及び型式名に関しては予告なく変更される可能性があります。
※対応ガス種に関してはお問合せください。
オプション
- プロセスに応じた多彩なドライポンプ温度仕様
- ブースターポンプや配管の加温仕様が選択可能
- フォアライン・アウトライン向け付帯機器の最適設計
- 集中モニタリングシステム(MS)によるポンプ運転状態監視
- 除外装置(ヒータ・プラズマ・燃焼から選択可能)を搭載したトータル排気システムのご提案