ドライ真空ポンプ　MU-P/H Series 株式会社アールデックで取り扱っている製品詳細ページになります。

製品情報

特長

• プロセス耐性に優れた省エネポンプ
• 軽負荷からエッチング・CVDまで幅広い用途で使用可能
• HOT-N2パージを搭載したMU-Hシリーズ

仕様

仕様/型式	MU100P/H	MU180P/H	MU300P/H	MU600P/H
最大排気速度[L/min]*2	1,660	3,000	5,000	10,000
到達圧力[Pa]*2	3.0	5.0	0.5
電源電圧(50/60Hz)	3相AC200-220V*3
消費電力[kW]*4	0.7	1.0	0.9	0.95
外観寸法[㎜]L×W×H*5	630×350×360	715×360×408	630×350×520
質量[kg]	70	130	110	130

仕様/型式	MU1218P/H	MU20N18P/H	MU30N18P/H
最大排気速度[L/min]*2	20,000	30,000	50,000
到達圧力[Pa]*2	0.5
電源電圧(50/60Hz)	3相AC200-220V*3
消費電力[kW]*4	1.4	1.5	1.6
外観寸法[㎜]L×W×H*5	870×380×751	1000×450×950
質量[kg]	280	410

*1）使用用途は事前にご相談ください。
*2）N2パージ未使用時の値です。
*3）本電源以外のご要求につきましては、別途ご相談ください。
*4）到達運転時の消費電力概略値です。HOT-N2対応時は+0.2kWとなります。
*5）パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求ください。

※海外規格対応についてはお問合せください。
　また、仕様及び型式名に関しては予告なく変更される可能性があります。
※大排気量ポンプもありますので、お問合せください。