ガスボックス用流量ベリファイシステム GBROR メーカー名：日本エム・ケー・エス株式会社, Mass-Flo コントローラ/メーター 製品情報 特長 MFCを取り外すことなく流量を精度をチェック ガス種に依存しないRate-of-Rise方式を採用 実ガスでの測定が可能で高精度 測定流量レンジ：最高20slm
