圧力ベースマスフローコントローラ 1640A メーカー名：日本エム・ケー・エス株式会社, 圧力コントロールシステム（アップストリーム制御） 製品情報 特長 イオン注入のSDS用ガス供給 常圧TEOS CDVのオゾン供給 ソニックノズルを利用した圧力ベースのマスフローコントローラ
