ドライスクロールポンプ nXDSシリーズ
メーカー名：エドワーズ株式会社
製品情報
概要
nXDSは排気速度の増加に加え、低到達圧力、低電力消費量、低騒音を実現します。
ガスバラストにより、水、溶剤、希薄酸および塩基類を含む凝縮性上記の排出が可能です。
nXDSポンプは最新のチップシール技術も備えているため、チップシールの交換の間隔が大幅に長くなります。
特長
- 温度調整ファン
低負荷状態でファン速度を抑えて、わずか52dB(A)の低騒音を実現しています。 - 軸受けシールド
プロセスガスと軸受け潤滑油との間を分離してクリーンな真空を実現し、プロセスガスから潤滑油への汚染の可能性を排除して軸受けの耐用期間を延ばします。 - インバータドライブ
グローバルで一貫したパフォーマンス、簡単な制御、低消費電力、および自動圧力調整を実現して、最高のユーザーエクスペリエンスを提供しています。 - スクロール設計の向上
第一世代のスクロールポンプよりも高い排気速度、一桁低い到達圧力（7×10-1Paから）となっています。 - ディップシール技術の向上
耐用期間が延びて、ほとんどの用途で通常のチップシールの耐用期間が2年以上となりました。 - 高流量ガスバラスト機能
水蒸気などを最大220g/hで排気することが可能です。
仕様
■真空データ
| 単位 | nXDS6i | nXDS10i | nXDS15i | nXDS20i | |
| 排気速度 | m3/h(cfm) | 6.2(3.6) | 11.4(6.7) | 15.1(8.9) | 22.0(13.0) |
| 到達真空(1) | Pa(Torr) | 2(0.015) | 0.7(0.005) | 3(0.022) | |
| ガスバラスト使用時の 到達真空 | Pa(Torr) | 5(0.038) | 4(0.03) | 6(0.045) | |
| 耐水蒸気性 | Pa(Torr) | 3,500(26) | 2,000(15) | ||
| 許容水蒸気圧 | gh-1 | 110 | 145 | 220 | |
| 最大連続 インレット 圧力(2) | Pa a(Torr a) | 20,000(150) | 5,000(38) | ||
| 最大ガス バラスト/ パージ圧力 | barゲージ(psig) | 0.5(7) | |||
(1)全圧として測定
(2)これらのポンプは大気圧からポンプダウンするよう設計されていますが、入口圧力が指定よりも高い場合の
長期運転はベアリングの寿命を短くします。
■モータデータ
| 単位 | nXDS6i | nXDS10i | nXDS15i | nXDS20i | |
| 供給電圧 | V | 100-127/200-240(+/-10%) | |||
| 供給周波数 | Hz | 50/60 | |||
| 公称回転速度 | rpm | 1800 | |||
| 最小スタンバイ回転速度 | rpm | 1200 | |||
| 速度制御精度 | % | 1 | |||
| 消費電力 （到達時） | W | 260 | 280 | 300 | 260 |
| モータ電力 | W | 660 | |||
| 電源コネクタ | IEC EN60320 C13 | ||||
| 推奨ヒューズ、 230V(115V) | A | 10(13) | |||
■物理データ
| 単位 | nXDS6i | nXDS10i | nXDS15i | nXDS20i | |
| 重量 | kg(Ib) | 26.2(58) | 25.8(57) | 25.2(56) | 25.6(56) |
| インレット 接続 | NW25 | ||||
| 排気接続 | NW25 | ||||
| 騒音レベル | dB(A) | 52 | |||
| 騒音レベル（防音カバー使用時） | dB(A) | 47 | |||
| 振動 （インレットフランジ部） | mms-1(rms) | <4.5 | |||
| リーク量 | Pa L/s | <1×10-4 | |||
| 動作温度範囲 | ℃(°F) | 10~40(50~104) | |||