ターボ分子ポンプ nEXTシリーズ
メーカー名：エドワーズ株式会社
製品情報
概要
EXTおよびnEXTターボ分子ポンプは、複合ドラッグステージ一体型コントローラを備えたハイブリッド軸受ポンプで、47〜400ℓ/sの排気速度で提供されています。いずれも永久磁石製上部軸受が特長でハイドロカーボンのない、高/超高真空を実現し、信頼性の高い高速運転を可能にします。
特長
- 上部磁気軸受け
クリーンな真空、低電力、低振動を実現。 - インレットスクリーン
標準装備（非表示）。 - 最適化されたロータ設計
高排気速度で高圧縮。 - 追加のリジェネステージ
Tタイプのポンプに付属し、圧縮の向上および、より高い背圧性能を提供。 - 手動ベントバルブ
ベントシステムの安全機能でポンプへの損傷を防止し、またベントを全自動化するソレノイドバルブと交換可。 - 内蔵コントローラ
直接I/Oまたはシリアルコードを提供し、当社のTAGまたはTAGコントローラに接続して簡単なシステムを実現。 - 完全なユーザー保守が可能
オイルカートリッジおよびベアリングは現場で簡単に保守が可能。
仕様
■真空データ
| 単位 | nEXT85 DN40 | nEXT85 DN63 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||
| 排気速度 | N2 | ℓ/s | 47 | 84 | 240 | 300 | 400 |
| Ar | 44 | 80 | 230 | 280 | 380 | ||
| He | 61 | 78 | 230 | 340 | 390 | ||
| H2 | 49/44(D/H) | 60/54(D/H) | 165 | 280 | 325 | ||
| 圧縮比 | N2 | ＞1011 | ＞1011(D&T) | ||||
| Ar | ＞1011 | ＞1011 | |||||
| He | 8×106/2×107(D/H) | 3×105/106 (D/T) | 106/3×106 (D/T) | 108/＞108 (D/T) | |||
| H2 | 2×105/5×105(D/H) | 104/105 (D/T) | 5×104/105 (D/T) | 5×105/106 (D/T) | |||
| 到達真空（CF） | Pa | ＜5×10-8 | |||||
| 最大背圧 | N2 | Pa | 1,800 | 950/2,000(D/T) | |||
■モータデータ
| 単位 | nEXT85 DN40 | nEXT85 DN63 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | |
| 最大消費 x電力 | W | 80(範囲50-120) | 160(範囲50-200) | |||
| 運転電圧 | V d.c. | 24-48 | ||||
| 公称回転 速度 | rpm | 90,000 | 60,000 | |||
■物理データ
| 単位 | nEXT85 DN40 | nEXT85 DN63 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | |
| 重量(ISO/CF) | Kg | 3 | 3/4.5 | 6/9 | 7/10 | |
| インレット 接続 | NW40 | ICF63またはCF63 | ISO100またはCF100 | ISO160 またはCF160 | ||
| 排気接続 | NW16 | NW25 | ||||
| 最大漏洩 磁波 | mT | 5 | ||||
| 始動時間 | 秒 | 115 | 145 | 175 | ||
| 取付姿勢 | フランジ直立から水平+/-2° | |||||
| 冷却方法 | 外気/空気/水 | |||||
| ベークアウト時のシステム フランジ最大温度(CFのみ) | 水冷/強制空冷 120/115℃ | |||||
| 軸受け制御 | 永久磁石製(上部)、オイル潤滑セラミック製(下部) | |||||
| ユーザーによる保守が可能な軸受け | はい | |||||
| コントローラタイプ | 内蔵 | |||||
| インターフェース | RS232、485、I/O | |||||
| オプションのインターフェース | 外部 Profibus | |||||