アクティブ インバーテッド マグネトロン ゲージ AIM
メーカー名：エドワーズ株式会社
製品情報
概要
AIMは、ゲージヘッドと制御用エレクトロニクスを1つの小型アクティブユニットに一体化した高真空測定用のゲージです。
特長
- プロセス制御用の調整可能セットポイントを内蔵
- 拡張レンジAIM-X（リニア出力付き、10-7Paまでの測定可）
- 電気系統を改良したために高圧時のイオン電流低減が実現し、クリーニング間隔延長
- 独自のストライカが、高圧時または汚染された状態下においてもスピーディな始動を補助
- 互換式ボディチューブ ー 事前校正不要の迅速な交換可能
- 電極サービスキットを用いるとユーザーによるクリーニングと保守可
- 標準アナログ2〜10V直流出力およびゲージ識別信号
仕様
| 圧力測定範囲 | AIM-S | 1〜10-6 Pa |
| AIM-X | 1〜10-7 Pa | |
| 最大過圧力 | 0.6 MPa（絶対圧） | |
| 電源 | 13.5〜36 V dc（最大電圧リップル1V） | |
| 消費電力 | 最大2W | |
| 出力 | 2〜10 V dc | |
| 温度範囲 | 運転時 | 5〜60℃ |
| 保管時 | 0〜70℃ | |
| ベーク（DN40CF） | 300℃（電気系を外す） | |
| 接ガス部材 | SUS304、316及び347 | |
| NW25仕様 | フルオロエラストマ、ガラス | |
| NW35CF仕様 | 銅、セラミック | |
| チューブ内容積 | 26cm3 | |
| 重量 | 700g | |
| 接続（電気） | 8ピンFCC68 互換 | |
| 接続（真空） | NW25またはDN40CF | |