コンパクトUHV e-Gun™蒸着源
メーカー名：Thermionics
観察・モニター用切り欠き
製品情報
概要
Thermionics 社製コンパクトUHV e-Gun 蒸着源は、高温エフュージョンセルで
は蒸着が難しい材料や蒸着レートを補うに最適な超高真空仕様の蒸着源です。
形状はエフュージョンセルに近く、チャンバーへの取り付けもエフュージョン
セルと同じようにICF114 ポートがあれば取り付けが可能です。
特長
- 3 kW (-6kV/500mA max.) 電子銃
- 完全にシールドされたエミッタ構造
- 高真空（HV）または超高真空（UHV）対応仕様
- 低いアウトガス
- 薄膜用高純度蒸着と高精度な蒸着の用途
- ビームスイープなし、金属材料用に設計されています
- ソースシャッター付き（圧空または手動）
- K- セル、エフュージョンセル用ポートに取り付け可能
- ルツボ観察、レートモニター用切り欠き付き
- Rod-Fed e-Gun にトランスフォームすることができます（オプション）
コンパクトUHV e-Gun™蒸着源RCCS-3 の仕様
Technical Data
- マウントフランジ： ICF114（標準）、またはICF152
- ルツボ容量： 3.31cc（標準）、または 2.24cc
- フィラメントタイプ：タングステン（W）ワイヤ
- 最大ベークアウト温度： 230℃
- 動作真空度： 5 x 10-3Pa より低い圧力が望ましい
- 電子ビーム偏向角度: 220°
- 加速電圧: -6kV max
- エミッション電流: 0-500 mA 連続可変
- 冷却水量：4L/min. @ 16°C
- 冷却水の圧力差: 0.18 Mpa
Reference Date
白金(Pt) ：50Å/sec
モリブデン(Mo) ：30Å/sec
( 基板間距離250mm@3kW)
4 kW e-Gun 制御電源 SVA-4
出力：-8kV/500mA max.
フィラメント電源：6VAC/25A
ラックマウント寸法/ 約482W x 267Hx 561D
質量：約27kg
高電圧出力ケーブル：Filament Output Transformer から1.5m
ハンドヘルド・リモートコントローラ付き（リモコンケーブル4m 付）
