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製品紹介

低温デュアルフィラメントセル

メーカー名:Veeco Instruments Inc.

周期表・蒸着材料から選ぶ

製品情報

特長
  • ルツボオリフィス部の凝縮を防ぎます。
  • SbやTe等の扱いにくい材料にも対応可能です。
  • タイプAインサートを用いることで高い蒸気圧を得ることができます。
対象材料
AsBiBaCaCd
CdSCdSeCdTeKLi
MgNaSrSbSe
TeYbZnZnTe
仕様
16cc20cc25cc30cc35cc40cc60cc
ルツボ形状コニカルシリンダーコニカルシリンダーコニカル
フィラメントタイプ2つのフィラメントに対して個別コントロールができるデュアルTaワイヤー
マウントフランジ標準ICF70ICF114ICF70ICF114
水冷ICF114ICF152
熱電対タイプ2箇所、タイプK (クロメル / アルメル)
真空内長203~381mm254~381mm229~381mm
操作温度100~750℃
最大脱ガス温度1000℃
最大消費電力セルサイズにより異なりますので詳細はお問い合せ下さい。
水冷機構オプション
電源電源と温度コントローラ各2台のユニットが必要

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