高性能四重極質量分析計/ABB Extrel-MEXM Series
メーカー名:Extrel CMS,LLC
製品情報
概要
研究目的に応じて最適の組み合わせが選べるコンポーネントベースの高性能四重極質量分析計です。
四重極質量分析計では類を見ない質量範囲(~10,000 amu)と分解能、感度を有し、残留ガス・生成ガス分析だけでなく、クラスタ生成過程の分析、分子ビームスキャッタリング、プラズマモニタリング、サーマルデソープション(TDS)など広い範囲のアプリケーションに対応できます。
例)
高分解能で測定したい RF周波数を上げる
イオン透過率を上げたい 19.0[㎜]四重極に
質量範囲を増やしたい RF周波数を下げる & 9.5[㎜]四重極に