四重極質量分析計 e-Vision2
メーカー名：日本エム・ケー・エス株式会社, プロセスモニタ/RGA
製品情報
特長
- 真空ライン、溶接やシールのリークの検出
- ポンプダウンの監視
- 冷却水ラインの漏れ監視
- 汚染物質のモニタリング
仕様
■アナライザ
| マスレンジ | 1-100amu又は200amu |
| 検出器 | ファラデー又はデュアル(ﾌｧﾗﾃﾞ-/SEM切替) |
| 最大使用圧力 | 1.3×10-2Pa |
| 最小検出分圧 | ファラデー:2.6×10-9Pa SEM(チャンネルプレート)：6.7×10-12Pa |
| マス安定 | 定常状態で±0.1amu/8時間 |
| 分解能 | 10％ valley |
| ベークアウト温度 | 250℃、コントローラーを外した状態 |
| 取付フランジ | ICF70コンフラットフランジ |
| イオンソース | オープン |
| イオンソース感度 | 2×10-6A/Pa |
| フィラメント | タングステン 2本(トリアコートオプション可能) |
| マスフィルター | 4インチシングル |
■制御部/PC
| コントローラー重量 | 1.7kg |
| 環境 | 10-40℃以下、湿度80％以下(結露無き事こと) |
| LEDステータス表示 | フィラメント1、フィラメント2、電源、通信 |
| エレクトロンエネルギー | 70eV |
| エミッション電流 | 1mA(自動制御) |
| その他の機能 | フィラメント保護外部トリップポイント |
| ソフトウェア | -EasyViewTM |
| ウェブサーバアプレット (IE5.0/5.5/6.0又はNetscape7.0で動作) | -ASCIIプロトコルサーバ |
| 電力 | 24VDC、2.0A (電源供給モジュール100-240VAC付属) |
| 通信 I/F | 10/100base-T Ethernet |