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製品紹介

卓上型カーボンナノチューブ合成装置MPCNT series

製品情報

特長

エタノールを炭素原料として用いた簡易型カーボンナノチューブ合成装置。
各種基板上に垂直配向カーボンナノチューブが合成できます。

シリコン・石英・チタン・ステンレス・銅・セラミックスに垂直配向したCNTを直接成長させます。
全プロセスは20分以下。還元ガスを使用せずにCNTが作製できます。
オプションとして、炭化水素ガス等も導入できます。試験研究用装置として、お気軽にご使用下さい。

仕様
本体パイレックス製チャンバーφ16mm×H125mm
パージガス導入ポート1ライン
排気ポンプポート1ライン
リークポート1ライン
真空計ブルドン式1台
電流端子導入ポート2対 (1対:予備)
外径寸法W400mm×H230mm×D265mm
ヒーター面積30mm×50mm
常用温度400℃~700℃
電源定格出力電流40A
定格出力電圧400W
動作電源AC90-250 単相50-60Hz
外径寸法W110mm×H130mm×D405mm
排気ポンプロータリーポンプ1台
液体燃料用るつぼ1ヶ
(以下オプション)
CVD原料導入用SUSチャンバー液体燃料導入ポート1ライン
炭化水素ガス導入ポート1ライン
還元ガス導入ポート1ライン
予備ポート1ライン
液体燃料用容器1ヶ
追加電源セット電源1台
ヒータ1組
放射温度計(オプション)
オプション

事前に作製した触媒付き基板を減圧したチャンバー内で加熱しCNTで合成するCVD装置。
炭素源であるエタノールは、事前導入または途中導入(オプション)を選択できる。

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