卓上型カーボンナノチューブ合成装置MPCNT series
メーカー名：株式会社マイクロフェーズ
製品情報
概要
エタノールを炭素原料として用いた簡易型カーボンナノチューブ合成装置。各種基板上に垂直配向カーボンナノチューブが合成できます。
シリコン・石英・チタン・ステンレス・銅・セラミックスに垂直配向したCNTを直接成長させます。
全プロセスは20分以下。還元ガスを使用せずにCNTが作製できます。
オプションとして、炭化水素ガス等も導入できます。試験研究用装置として、お気軽にご使用ください。
仕様
| 本体 | パイレックス製チャンバー | φ16㎜×H125㎜ |
| パージガス導入ポート | 1ライン | |
| 排気ポンプポート | 1ライン | |
| リークポート | 1ライン | |
| 真空計 | ブルドン式1台 | |
| 電流端子導入ポート | 2対 (1対：予備) | |
| 外径寸法 | W400㎜×H230㎜×D265㎜ | |
| ヒーター | 面積 | 30㎜×50㎜ |
| 常用温度 | 400℃～700℃ | |
| 電源 | 定格出力電流 | 40A |
| 定格出力電圧 | 400W | |
| 動作電源 | AC90-250 単相50-60Hz | |
| 外形寸法 | W110㎜×H130㎜×D405㎜ | |
| 排気ポンプ | ロータリーポンプ | 1台 |
| 液体燃料用るつぼ | 1ヶ | |
| (以下オプション) | ||
| CVD原料導入用SUSチャンバー | 液体燃料導入ポート | 1ライン |
| 炭化水素ガス導入ポート | 1ライン | |
| 還元ガス導入ポート | 1ライン | |
| 予備ポート | 1ライン | |
| 液体燃料用容器 | 1ヶ | |
| 追加電源セット | 電源 | 1台 |
| ヒータ | 1組 | |
| 放射温度計（オプション） | ||
オプション
事前に作製した触媒付き基板を減圧したチャンバー内で加熱しCNTで合成するCVD装置。
炭素源であるエタノールは、事前導入または途中導入(オプション)を選択できる。
炭素源であるエタノールは、事前導入または途中導入（オプション）を選択可能です。
