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製品紹介

CVD装置用ガス混合システム DA0060

製品情報

特長

CVD装置に混合したガスを供給するためのシステムです。
複数のガス種を任意の比率により混合して供給することができます。ベルトラインを設けることにより、バルブ操作による圧力の変動が軽減されるように設計されています。

仕様
ガスライン10系統
配管継手4VCR
エバポレーター2ライン (温度制御)
バルブ開閉別途ソフトウェアにより制御可能

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