CVD装置用ガス混合システム　DA0060 株式会社アールデックで取り扱っている製品詳細ページになります。

製品情報

特長

CVD装置に混合したガスを供給するためのシステムです。
複数のガス種を任意の比率により混合して供給することができます。ベルトラインを設けることにより、バルブ操作による圧力の変動が軽減されるように設計されています。

仕様

ガスライン	10系統
配管継手	4VCR
エバポレーター	2ライン (温度制御)
バルブ開閉	別途ソフトウェアにより制御可能