i-GONIOシリーズ/リアルシャフト面内回転Type メーカー名：株式会社アールデック 製品情報 特長 面内回転型ステージで最高の到達冷却能力と角度分解能 仕様 ステージ構成面内回転冷却到達温度9K面内範囲±90°角度分解能0.1°（片押し時）輻射シールド固定シールド
