i-GONIOシリーズ/リアルシャフト1or2段チルトステージType メーカー名:株式会社アールデック 製品情報 特長 チルト型ステージで最高の到達冷却能力 固定/チルト複合型ステージが可能 仕様 ステージ構成チルト回転(2 段ステージの場合は上段が固定)却到達温度チルトステージ 10K(2 段ステージ構成)固定ステージ 7Kチルト範囲-5°~ 60°角度分解能0.05°(片押し時)輻射シールド開閉式シールド