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製品紹介

超高真空対応トランスファーベッセル ATV-100/200

製品情報

実績
  • NEXTorr IP-ONの状態で3日間1.7Pa×10-8Pa保持!
  • NEXTorr IP-OFFの状態で3日間1.5Pa×10-7Pa保持! ※無負荷時
特長
  • 超高真空状態を保持したまま電源なしでも搬送可能!
  • 独自の脱ガス処理を施し、部品からのガス排出を低減!
  • 基板受け渡しのための搬送機構(マグネットフィードスルー)を標準装備!
  • 次世代ポンプNEXTorr(イオンポンプ+ゲッターポンプ)専用電源により真空度表示も可能!
  • コンパクトなデザインで専用キャリーケースの使用により楽々持ち運び!
仕様

ベッセルチャンバー

  • Heリーク量:1.33×10-11Pa・m/s以下
  • 内外面バフ+電解研磨、真空ベーク処理450℃-10時間(OP:内面複合電解研磨)

※部品1つ1つに真空脱ガス処理を施すことにより、部品からの放出ガスを低減しております。

※サンプルトランスファー = AST-RL標準装備(OMサンプルホルダー着脱)

型式選択

オプション

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