超高真空対応トランスファーベッセル ATV-100/200
メーカー名：株式会社アールデック, 株式会社エイブイシー
製品情報
実績
- NEXTorr IP-ONの状態で3日間1.7Pa×10-8Pa保持！
- NEXTorr IP-OFFの状態で3日間1.5Pa×10-7Pa保持！ ※無負荷時
特長
- 超高真空状態を保持したまま電源なしでも搬送可能！
- 独自の脱ガス処理を施し、部品からのガス排出を低減！
- 基板受け渡しのための搬送機構（マグネットフィードスルー）を標準装備！
- 次世代ポンプNEXTorr(イオンポンプ＋ゲッターポンプ)専用電源により真空度表示も可能！
- コンパクトなデザインで専用キャリーケースの使用により楽々持ち運び！
仕様
ベッセルチャンバー
- Heリーク量：1.33×10-11Pa・m３/s以下
- 内外面バフ+電解研磨、真空ベーク処理450℃-10時間（OP:内面複合電解研磨）
※部品１つ１つに真空脱ガス処理を施すことにより、部品からの放出ガスを低減しております。
※サンプルトランスファー = AST-RL標準装備（OMサンプルホルダー着脱）
型式選択
オプション
