真空対応ウェハーマッピングFTIR測定装置 760MNK
メーカー名：株式会社アールデック, 株式会社エイブイシー
製品情報
特長
ウェハー上に成膜した材料を真空下でFTIRを用いて測定し、ウェハー内の組成分布解析や各成分の定量分析が可能です。
FTIRの基本機能に加えて、真空下でウェハー内をマッピングすることにより短時間で容易に水蒸気・炭酸ガス等のバックグラウンドの影響が除去された高精度測定が可能です。
仕様
■FTIR
真空排気対応
■ウェハーマッピング部
| サンプルサイズ | 4～8inch ウェハー及び不定形状チップ |
| 圧力 | 10Pa以下 |
■ソフトウェア
- 自動マッピングソフトウェア
- マニュアル座標設定、R-θ設定、X-Y (スクエア)設定、その他設定の追加も対応可能
- 標準設定、解析ソフトウェア