深紫外LED製造装置用ウェハ表面温度モニタ
DUV-BandiT
メーカー名：k-Space Associates, Inc.
製品情報
概要
深紫外線LED（DUV-LED）は、従来の水銀ランプに替わる水や穀物の殺菌・浄化用途に採用され初めており、その他の分野への応用が期待されています。
水銀ランプの製造・輸出・輸入は2017年8月16日に発効された条約によって原則禁止になりました。
仕様
測定対象：AIN膜onサファイア基板、AIN基板、Ga2O3、Diamond、GaN
測定温度：室温ー1300℃
測定波長：190nm〜500nm
構成：レーザー駆動式Xe光源、ディテクタ、
190nm〜500nm分光計内蔵制御電源、
ソフトウェア、ノートPC
