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製品紹介

深紫外LED製造装置用ウェハ表面温度モニタ
DUV-BandiT

製品情報

概要

深紫外線LED(DUV-LED)は、従来の水銀ランプに替わる水や穀物の殺菌・浄化用途に採用され初めており、その他の分野への応用が期待されています。
水銀ランプの製造・輸出・輸入は2017年8月16日に発効された条約によって原則禁止になりました。

仕様

測定対象:AIN膜onサファイア基板、AIN基板、Ga2O3、Diamond、GaN
測定温度:室温ー1300℃

測定波長:190nm〜500nm
構成:レーザー駆動式Xe光源、ディテクタ、
190nm〜500nm分光計内蔵制御電源、
ソフトウェア、ノートPC

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