RHEED解析システム kSA400
メーカー名：k-Space Associates, Inc.
製品情報
概要
MBE・PLD・結晶薄膜装置に取り付け可能
RHEED回折像から結晶格子間隔、ひずみ変化・薄膜成長レート・膜厚・コヒーレンス長などの 他に、結晶薄膜表面の評価 / 分析に必要な情報を容易にモニタ出来ます。
取得した回折画像や映像分析はもちろん高速基板回転中の取得データのIn-situ分析においても、すばやく完全な結果が得られます。
用途により12ビットCCDカメラ（88フレーム/秒）と14ビットCCDカメラ
（15フレーム/秒）の2種類から選択いただけます。
特長
- 最新CCDカメラ２種
- フル入出力及びトリガー機能
- PLD装置対応、スパッタ装置対応
- リアルタイム成長率分析
- ソフトウェア改良の継続
- PLE、LEED I/V、Auger/XPSなどのオプション
- OEM RHEED電子銃コントロールオプション（R-DEC製またはStaib製)
12bit 88fps カメラ
14bit 15fps 高解像度カメラ
構成
デジタルCCDカメラ・フランジマウント・ソフトウェアコンピュータにより構成されています。
1 ハードウェア機能
- プログレッシブスキャン、インターライントランスファー、88フレーム/秒、ソフトウェアによる露光時間制御が可能な12ビットデジタルCCDカメラ（15フレーム/秒の14ビットデジタルCCDカメラも選択可）
- 解像度プログラムが可能な40 MHzデジタルフレームグラバー
- 輝度変動率を損なわずにズームインとズームアウトが可能
- 多様な真空チャンバーとレール付フランジマウントアッセンブリー(ICF114、ICF152、ICF203)、
- イメージャとレンズの保護、光漏れのない環境を提供（Veeco GEN II又はRIBER用特殊フランジマウントアッセンブリーも用意）
- 基板回転等の外部イベントから正確にトリガーをかけるための非同期リセットを含む外部トリガーが可能
- DellTMからの最新高性能デスクトップコンピュータ＆22インチＴＦＴディスプレー
2 ソフトウェア機能
- 画像取得のタイプはシングル画像、マルチ画像、デジタルムービー録画と様々 ”スキャンモードイメージ”はユーザーが任意に引いたラインをスキャンし回折パターンの経時変化を表示。
- 同時にデジタルムービー機能にて全体の回折変化の取得も可能
- リアルタイム測定と成長率、格子間隔、コヒーレンス長、ひずみ、測定モードの切り換えを含む多数のRHEEDパラメーターのビジュアル化が可能。すべての計算は使用して証明されたRHEED特定分析ルーチンに基づく
- 成長率は高速フーリエ変換、微分解析、減衰波長の3通り
- 取得した画像はwindowsメタファイル（.bmp, .tif等）で出力
- 高解像度2D及び3Dグラフィック表示及び及び回転、カラー変換パレット
- アナログ/デジタル I/O(入力/出力)
オプション
- LEED I/V
- PLE(Phase Locked Epitaxy)
- オージェ分光分析(AES)
- X線分光分析(XPS)
- RHEEDガン制御
- L型カメラBOXマウント
- ソフトカバーマウント
- Multiple Data Sets
| Standard Flange Mount | Soft Cover Flange Mount | New! Right Angle Flange Mount |
 |  |   |