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製品紹介

RHEED解析システム kSA400

製品情報

概要

MBE・PLD・結晶薄膜装置に取り付け可能

RHEED回折像から結晶格子間隔、ひずみ変化・薄膜成長レート・膜厚・コヒーレンス長などの 他に、結晶薄膜表面の評価 / 分析に必要な情報を容易にモニタ出来ます。
取得した回折画像や映像分析はもちろん高速基板回転中の取得データのIn-situ分析においても、すばやく完全な結果が得られます。
用途により12ビットCCDカメラ(88フレーム/秒)と14ビットCCDカメラ
(15フレーム/秒)の2種類から選択いただけます。

特長
  • 最新CCDカメラ2種
  • フル入出力及びトリガー機能
  • PLD装置対応、スパッタ装置対応
  • リアルタイム成長率分析
  • ソフトウェア改良の継続
  • PLE、LEED I/V、Auger/XPSなどのオプション
  • OEM RHEED電子銃コントロールオプション(R-DEC製またはStaib製)
k700-12
12bit 88fps カメラ
k2750-14
14bit 15fps 高解像度カメラ
構成

デジタルCCDカメラ・フランジマウント・ソフトウェアコンピュータにより構成されています。

1 ハードウェア機能
  • プログレッシブスキャン、インターライントランスファー、88フレーム/秒、ソフトウェアによる露光時間制御が可能な12ビットデジタルCCDカメラ(15フレーム/秒の14ビットデジタルCCDカメラも選択可)
  • 解像度プログラムが可能な40 MHzデジタルフレームグラバー
  • 輝度変動率を損なわずにズームインとズームアウトが可能
  • 多様な真空チャンバーとレール付フランジマウントアッセンブリー(ICF114、ICF152、ICF203)、
  • イメージャとレンズの保護、光漏れのない環境を提供(Veeco GEN II又はRIBER用特殊フランジマウントアッセンブリーも用意)
  • 基板回転等の外部イベントから正確にトリガーをかけるための非同期リセットを含む外部トリガーが可能
  • DellTMからの最新高性能デスクトップコンピュータ&22インチTFTディスプレー
2 ソフトウェア機能
  • 画像取得のタイプはシングル画像、マルチ画像、デジタルムービー録画と様々 ”スキャンモードイメージ”はユーザーが任意に引いたラインをスキャンし回折パターンの経時変化を表示。
  • 同時にデジタルムービー機能にて全体の回折変化の取得も可能
  • リアルタイム測定と成長率、格子間隔、コヒーレンス長、ひずみ、測定モードの切り換えを含む多数のRHEEDパラメーターのビジュアル化が可能。すべての計算は使用して証明されたRHEED特定分析ルーチンに基づく
  • 成長率は高速フーリエ変換、微分解析、減衰波長の3通り
  • 取得した画像はwindowsメタファイル(.bmp, .tif等)で出力
  • 高解像度2D及び3Dグラフィック表示及び及び回転、カラー変換パレット
  • アナログ/デジタル I/O(入力/出力)
オプション
  • LEED I/V
  • PLE(Phase Locked Epitaxy)
  • オージェ分光分析(AES)
  • X線分光分析(XPS)
  • RHEEDガン制御
  • L型カメラBOXマウント
  • ソフトカバーマウント
  • Multiple Data Sets
Standard
Flange Mount
Soft Cover
Flange Mount
New! Right Angle
Flange Mount

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