PG/PBNヒーター &静電チャック
メーカー名：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
製品情報
概要
ユニークな電気・化学的特長と温度特性を有する電気絶縁性のPBN(熱分解窒化硼素)と、導電体であるPG(熱分解黒鉛)の最先端技術を使用した複合体です。
高温下でも脱ガスが非常に少ない高純度性能は、高温での熱CVD(化学的気相蒸着)法から生み出されています。PBNとPGの高い熱伝導性と異方性は優れた均熱性をもたらしています。
利点
- 使用温度1500℃以上まで可能 (使用条件による)
- 理論密度に近い → 超高真空中でアウトガスが少ない。ドーピング源とならない。
- 多くの腐食性ガス・液体に対して不活性
- 多くの溶融金属に浸食されない。
- 長寿命
- 層構造のセラミックス → 優れた機械的及び耐熱衝撃性
- 温度の再現性及び均熱特性
- 低い熱容量による超高速熱応答性
- 表面が絶縁されているため、被加熱物を直接置くことができる。
特色
CVD法による絶縁体窒化硼素と導電体PGの複合体は、次のことを可能にします。
- 100W/cm2を超える出力密度
- 寸法安定性と電気的安定性
- 面内温度分布を自由に変えることができる設計
- 1.2J/gKの低い熱容量
- 窒化硼素の絶縁破壊強度*：2000,000V/mm
- 窒化硼素の誘電率* ：3.4
*c方向に対しての数値
用途
- エピタキシャル用/イオン注入プロセス用ヒータ
- ガラス加工用ヒータ (レンズ・基板など)
- 強誘電体基板プロセス・分析機器用ヒータ
色々なデザインに対応
プレートタイプのPG/PBNヒータ及び静電チャックには、加熱部内側に電極があるタイプ、 電極保護のため加熱部外側のタブもしくは延長ポストに電極があるタイプなどがあります。 また、ルツボやチューブといった立体的な製品にもCVD法によってヒータ面を作成すること ができます。
そして、温度の面内均一性を高めるため、電極の位置を柔軟に設計することができます。 ヒータパターンはお客様のニーズに応じて多様化が可能です。
マルチゾーンの採用によりニーズに応じたゾーン加熱にも対応することができます。熱分解窒化硼素基材を用いた場合は厚み約2mm、黒鉛基材の場合は5-15mmが標準的です。 基本的に静電チャックには、フラットで安定した
性能をもたらす黒鉛基材が用いられます。
ヒータの種類と特長
| 特長 | 熱分解窒化硼素ベース | 黒鉛ベース | 熱分解窒化硼素コート黒鉛 |
| 熱容量 | 少 | 大 | 中 |
| 昇温速度 | ◎ | ○ | △ |
| 均熱性 | ○ | ◎ | △ |
| 平坦度 | ○ | ◎ | △ |
| 厚さ | 1-2mm程度 | 3-20mm程度 | —— |
| 静電チャック可否 | 小径のみ可 | 可 | —— |
| 抵抗 | 高 | 高 | 低 |
| その他 | 3D&コンパクト設計可 | 3D&大径設計可 | 発熱量が大きい |