コールドカソードタフゲージ CCTG110S
メーカー名：株式会社ミラプロ
製品情報
概要
CCTGは従来にない全く新しい正マグネトロン型の冷陰極真空計です。
仕様
| 形状 | セパレートタイプ |
| 圧力測定範囲(N2) | 1ｘ10-8Pa ～0.1Pa （ICF70フランジ使用時） |
| 表示圧力単位 | Pa、Torr、mbar |
| バイアス | 3kV～500V最適制御 （計測圧力に最適な電圧に自動制御） |
| タフモード | 測定時カソード電極を通電加熱 (温度を３段階に設定可) |
| デガス | カソードを約700℃にフラッシュ加熱 |
| インターフェイス | RS232C、USB 表示器(TGD100)、PCに接続可 |
| 入力信号 | 測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF |
| 出力信号 | セットポイント接点×2ch、アラーム接点 |
| 圧力信号出力 | 0-10V×2ch |
| 入力動作 | AC85〜240V 50/60Hz |
| シール部材質 | バイトンシール（NW25） メタルOリングシール（ICF70） |
| 接続フランジ | NW25（NW25KF） ICF70（NW40CF） |