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製品紹介

ミニチュアイオンゲージ IG-10

製品情報

概要

センサー・回路一体型のトランスデューサー型B-Aゲージ
フィラメント2本を標準装備
(断線を防ぐ保護機能付き)

仕様
測定範囲 1.33×10-7~6.65Pa
表示 デジタル表示 (仮数部3桁、指数部2桁)
フィラメント材質イットリアコートイリジウム
デガス 4(W) ボンバード方式
エミッション電流・4(mA)  推奨圧力範囲 1.33×10-7~1.0×10-2(Pa)
(切替方式) ・100(μA) 推奨圧力範囲 1.0×10-4~6.65(Pa)
外部制御 FIL ON/OFF・デガスON/OFF・エミッション切替
ガス種設定N2・Air・O2・CO2・Ar・He等 16種類
アナログ出力0~9(VDC) [ログリニア]:1(V)/1桁
使用温度温度0~40℃ 湿度95%以下 (結露せぬこと)
ベーキング温度200℃ (回路部を取り外すこと)
電源      DC20~28V 14[W]
外径寸法70(W)×82(H)×68(W) mm (センサー部は除く)
フランジNW25、ICF70
通信機能RS-485
セットポイント 1点

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