クリスタル/コールドカソードゲージ CC-10
メーカー名：東京電子株式会社
製品情報
特長
- 最新のセンサー技術を取り入れ、12桁の圧力測定範囲(1.0×105～1.0×10-7 Pa)の連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。
- 大気圧から1Paまではクリスタルゲージ、1Paから10-7Paまでは コールドカソードゲージを使用し測定します。
- センサー・ 回路部・ディスプレイ一体型により、本製品のみで 圧力表示・セットポイントによるシステム制御が行えます。
- デジタル通信RS485を標準装備しております。
仕様
| 測定範囲 | 1.0×105～1.0×10-7Pa |
| センサー | クリスタルゲージ/コールドカソードゲージ |
| 表示 | 7セグメントLED |
| アナログ出力 | DC0～10[V] log出力または複合出力から選択 |
| セットポイント | 3点（1点独立、2点はコモン共通） |
| 接点容量 | DC50V、0.12[A] |
| デジタルインターフェイス | RS485 |
| フランジ | NW25、又はICF70 |
| 電源電圧 | DC22～26[V] |
| 動作時周囲温度 | 0～50[℃] |
| ベーキング温度 | Max 100℃ (回路は取り外すこと) |
| 外径寸法 | 94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm] (NW25) 94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm] (ICF70) |
| 重量 | 840[g] (NW25) 1060[g] (ICF70) |
オプション
- CC-10専用表示器 DS-10 ：小型なボディー(48(W)×45(H)×100(D)[mm])で密度の高い実装が可能です。
- アダプタセット1 AC-1-5：AC100[V]からCC-10本体への電源供給用
- アダプタセット2 AC-2-5：AC100[V]からCC-10本体、専用表示器への電源供給用
用途
- 真空蒸着装置
- 光学薄膜生成装置
- 加速装置とUHV研究
- 電子デバイス製造装置
- 光電子工学のデバイス製造装置