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製品紹介

クリスタル/コールドカソードゲージ  CC-10 

製品情報

特長

最新のセンサー技術を取り入れ、12桁の圧力 測定範囲(1.0×105~1.0×10-7Pa)の連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。
大気圧から1Paまではクリスタルゲージ、1Paから10-7Paまでは コールドカソードゲージを使用し測定します。
センサー・ 回路部・ディスプレイ一体型により、本製品のみで 圧力表示・セットポイントによるシステム制御が行えます。
また、CC-10はデジタル通信RS485を標準装備しております。

仕様
測定範囲 1.0×105~1.0×10-7Pa
センサー クリスタルゲージ/コールドカソードゲージ
表示  7セグメントLED
アナログ出力 DC0~10[V]  log出力または複合出力から選択
セットポイント3点(1点独立、2点はコモン共通)
接点容量DC50V、0.12[A]
デジタル
インターフェイスRS485
フランジNW25、又はICF70
電源電圧DC22~26[V]
動作時周囲温度 0~50[℃]
ベーキング温度Max 100℃ (回路は取り外すこと)
外径寸法94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm]  (NW25)
94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm]  (ICF70)
重量  840[g] (NW25)
1060[g] (ICF70)
オプション
  • CC-10専用表示器 DS-10 :小型なボディー(48(W)×45(H)×100(D)[mm])で密度の高い実装が可能です。
  • アダプタセット1 AC-1-5:AC100[V]からCC-10本体への電源供給用
  • アダプタセット2 AC-2-5:AC100[V]からCC-10本体、専用表示器への電源供給用
用途
  • 真空蒸着装置          
  • 光学薄膜生成装置
  • 加速装置とUHV研究      
  • 電子デバイス製造装置
  • 光電子工学のデバイス製造装置

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