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製品紹介

UHV アングルバルブ Series 28

製品情報

主な用途

超高真空アプリケーションの排気、ベント用(TMP/粗引きポンプ間)

特長
  • ボディ材質:ステンレス
  • ベローズ軸シール
  • 長いライフサイクル
  • 大きな差圧対応
仕様
リーク量バルブボディ<5・10-11Pam3s-1
バルブシート<1・10-10Pam3s-1
使用圧力範囲1・10-8Pa to 0.2MPa(abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧≦0.2MPa(バルブ開方向)
≦0.5MPa(バルブ閉方向)
バルブを開ける時の許容最大差圧≦0.1MPa
第1回サービスまでのサイクル数3,000,000回
許容温度バルブボディ≦200℃ (open)
≦150℃ (closed)
手動アクチュエータ≦120℃ (without handwheel 200℃)
圧空アクチュエータ≦120℃
電磁弁≦80℃
リミットスイッチ≦80℃
シールボンネットメタル
ゲートFKM (Viton)
軸シール ベローズ
取付方向自由
コンダクタンス(分子流)DN16/40/635/45/160 ls-1
製品一覧
  • ICF34UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ)
    型式:28424-GE01

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  • ICF70UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ)
    型式:28432-GE01

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  • ICF114UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ)
    型式:28436-GE01

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  • ICF34UHVアングルバルブ (圧空作動式・SUSボディ、LS、電磁弁付き)
    型式:28424-GE41 ノーマルクローズ(NC)
  • ICF70UHVアングルバルブ (圧空作動式・SUSボディ、LS、電磁弁付き)
    型式:28432-GE41 ノーマルクローズ(NC)

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  • ICF114UHVアングルバルブ (圧空作動式・SUSボディ、LS、電磁弁付き)
    型式:28436-GE41 ノーマルクローズ(NC)

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