UHV アングルバルブ Series 28
メーカー名：VAT株式会社
製品情報
主な用途
超高真空アプリケーションの排気、ベント用(TMP/粗引きポンプ間)
特長
- ボディ材質：ステンレス
- ベローズ軸シール
- 長いライフサイクル
- 大きな差圧対応
仕様
| リーク量 | バルブボディ | ＜5・10-11Pam3s-1 |
| バルブシート | ＜1・10-10Pam3s-1 | |
| 使用圧力範囲 | 1・10-8Pa to 0.2MPa(abs) | |
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | ≦0.2MPa(バルブ開方向) ≦0.5MPa(バルブ閉方向) | |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦0.1MPa | |
| 第１回サービスまでのサイクル数 | 3,000,000回 | |
| 許容温度 | バルブボディ | ≦200℃ (open) ≦150℃ (closed) |
| 手動アクチュエータ | ≦120℃ (without handwheel 200℃) | |
| 圧空アクチュエータ | ≦120℃ | |
| 電磁弁 | ≦80℃ | |
| リミットスイッチ | ≦80℃ | |
| シール | ボンネット | メタル |
| ゲート | FKM (Viton) | |
| 軸シール | ベローズ | |
| 取付方向 | 自由 | |
| コンダクタンス(分子流) | DN16/40/63 | 5/45/160 ls-1 |
製品一覧
- ICF34UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ)
型式：28424-GE01
- ICF70UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ)
型式：28432-GE01
- ICF114UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ)
型式：28436-GE01
- ICF34UHVアングルバルブ (圧空作動式・SUSボディ、LS、電磁弁付き)
型式：28424-GE41 ノーマルクローズ(NC)
- ICF70UHVアングルバルブ (圧空作動式・SUSボディ、LS、電磁弁付き)
型式：28432-GE41 ノーマルクローズ(NC)
- ICF114UHVアングルバルブ (圧空作動式・SUSボディ、LS、電磁弁付き)
型式：28436-GE41 ノーマルクローズ(NC)