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製品紹介

RF コンタクト付きオールメタルゲートバルブ Series 47

製品情報

主な用途
  • 加速器、ストレージリング用のセクターバルブ
  • マイクロウェーヴ伝送ラインの真空封止用
特長
  • ボディ材質:ステンレス
  • VATRING機構
  • 開および閉位置での機械的ロック機構
  • 耐放射線性能 (標準105Gy)
  • 御指定のRF開口に対応可
  • スプリングによりRFコンタクトの再現性を確保
仕様
リーク量バルブボディ<5・10-11Pam3s-1
バルブシート<1・10-10Pam3s-1
使用圧力範囲XHV to 0.2MPa(abs)
ゲートにかけ得る許容最大差圧≦0.1MPa
バルブを開ける時の許容最大差圧≦0.05MPa
第1回サービスまでのサイクル数10,000回 (DN63-160)
5,000回(DN200)
許容温度バルブボディ≦300℃
手動アクチュエータ≦200℃
電磁弁≦80℃
リミットスイッチ≦80℃ (オプション200℃)
シールボンネットメタル
ゲートメタル
軸シール ベローズ
取付方向ビームラインに水平であれば自由
製品一覧
  • ICF114RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:47236-CE74 (コンパクト型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度:200℃)
  • ICF152RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:47240-CE74 (コンパクト型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度:200℃)
  • ICF203RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:47244-CE74 (コンパクト型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度:200℃)
  • ICF114RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:47236-CE44 (延長型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度:300℃)
  • ICF152RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:47240-CE44 (延長型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度:300℃)
  • ICF114RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:47244-CE44 (延長型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度:300℃)

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