RF コンタクト付きオールメタルゲートバルブ Series 47
メーカー名：VAT株式会社
製品情報
主な用途
- 加速器、ストレージリング用のセクターバルブ
- マイクロウェーヴ伝送ラインの真空封止用
特長
- ボディ材質：ステンレス
- VATRING機構
- 開および閉位置での機械的ロック機構
- 耐放射線性能 (標準105Gy)
- 御指定のRF開口に対応可
- スプリングによりRFコンタクトの再現性を確保
仕様
| リーク量 | バルブボディ | ＜5・10-11Pam3s-1 |
| バルブシート | ＜1・10-10Pam3s-1 | |
| 使用圧力範囲 | XHV to 0.2MPa(abs) | |
| ゲートにかけ得る許容最大差圧 | ≦0.1MPa | |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦0.05MPa | |
| 第１回サービスまでのサイクル数 | 10,000回 (DN63-160) 5,000回（DN200) | |
| 許容温度 | バルブボディ | ≦300℃ |
| 手動アクチュエータ | ≦200℃ | |
| 電磁弁 | ≦80℃ | |
| リミットスイッチ | ≦80℃ (オプション200℃) | |
| シール | ボンネット | メタル |
| ゲート | メタル | |
| 軸シール | ベローズ | |
| 取付方向 | ビームラインに水平であれば自由 | |
製品一覧
- ICF114RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：47236-CE74 (コンパクト型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度：200℃)
- ICF152RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：47240-CE74 (コンパクト型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度：200℃)
- ICF203RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：47244-CE74 (コンパクト型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度：200℃)
- ICF114RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：47236-CE44 (延長型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度：300℃)
- ICF152RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：47240-CE44 (延長型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度：300℃)
- ICF114RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：47244-CE44 (延長型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度：300℃)