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製品紹介

高真空アングルバルブ(ベローズ軸シール)Series 26(手動式・圧空作動式)

製品情報

主な用途

高真空アプリケーションの排気、ベント用(TMP/粗引きポンプ間)

特長
  • ボディ材質:アルミニウムまたはステンレス
  • ベローズ軸シール
  • 長いライフサイクル
  • 大きな差圧対応
仕様
リーク量バルブボディ<1・10-10Pam3s-1
バルブシート<1・10-10Pam3s-1
使用圧力範囲1・10-6Pa to 0.5MPa(abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧≦0.2MPa(バルブ開方向)
≦0.5MPa(バルブ閉方向)
バルブを開ける時の許容最大差圧≦0.1MPa
第1回サービスまでのサイクル数3,000,000回
許容温度バルブボディ≦150℃
手動アクチュエータ≦120℃
圧空アクチュエータ≦120℃
電磁弁≦80℃
リミットスイッチ≦80℃
シールボンネットFKM (Viton)
ゲートFKM (Viton)
軸シールベローズ
取付方向自由
コンダクタンス(分子流)DN16/25/405/14/45 ls-1
製品一覧
  • NW16高真空アングルバルブ (手動式・アルミボディ)
    型式:26424-KA01

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  • NW25高真空アングルバルブ (手動式・アルミボディ)
    型式:26428-KA01

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  • NW40高真空アングルバルブ (手動式・アルミボディ)
    型式:26432-KA01

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  • NW16高真空アングルバルブ (圧空作動式・アルミボディ、LS、電磁弁付き)
    型式:26424-KA41 ノーマルクローズ(NC)
  • NW25高真空アングルバルブ (圧空作動式・アルミボディ、LS、電磁弁付き)
    型式:26428-KA41 ノーマルクローズ(NC)

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  • NW40高真空アングルバルブ (圧空作動式・アルミボディ、LS、電磁弁付き)
    型式:26432-KA41 ノーマルクローズ(NC)

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