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製品紹介

高真空シリンダーバルブ Series 25

製品情報

主な用途
  • 大きなコンダクタンスが要求される高真空
  • アプリケーションの排気およびベント用
特長
  • ボディ材質:アルミニウム
  • 最大級のコンダクタンス
  • 開および閉位置での機械的ロック
仕様
リーク量バルブボディ<1・10-10Pam3s-1
バルブシート<1・10-10Pam3s-1
使用圧力範囲1・10-6Pa to 0.3MPa(abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧≦0.12MPa(バルブ開方向)
 ≦0.3MPa(バルブ閉方向)
バルブを開ける時の許容最大差圧≦0.12Pa
第1回サービスまでのサイクル数100,000
許容温度バルブボディ≦120℃
アクチュエータ≦120℃
リミットスイッチ≦80℃
シールボンネットFKM (Viton)
ゲートFKM (Viton)
軸シールOリング回転軸シール
取付方向自由
コンダクタンス(分子流) Series25.0DN16/25/405/16/46 ls-1
コンダクタンス(分子流) Series25.1DN16/25/406/19/55 ls-1
製品一覧
  • NW16高真空シリンダーバルブ (アングルバルブ)
    型式:25024-KA24
  • NW25高真空シリンダーバルブ (アングルバルブ)
    型式:25028-KA24

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  • NW40高真空シリンダーバルブ (アングルバルブ)
    型式:25032-KA24
  • NW16高真空シリンダーバルブ (インラインバルブ)
    型式:25124-KA24
  • NW25高真空シリンダーバルブ (インラインバルブ)
    型式:25128-KA24

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  • NW40高真空シリンダーバルブ (インラインバルブ)
    型式:25132-KA24

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