高真空シリンダーバルブ Series 25
メーカー名：VAT株式会社
製品情報
主な用途
- 大きなコンダクタンスが要求される高真空
- アプリケーションの排気およびベント用
特長
- ボディ材質：アルミニウム
- 最大級のコンダクタンス
- 開および閉位置での機械的ロック
仕様
| リーク量 | バルブボディ | ＜1・10-10Pam3s-1 |
| バルブシート | ＜1・10-10Pam3s-1 | |
| 使用圧力範囲 | 1・10-6Pa to 0.3MPa(abs) | |
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | ≦0.12MPa(バルブ開方向) ≦0.3MPa(バルブ閉方向) | |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦0.12Pa | |
| 第１回サービスまでのサイクル数 | 100,000 | |
| 許容温度 | バルブボディ | ≦120℃ |
| アクチュエータ | ≦120℃ | |
| リミットスイッチ | ≦80℃ | |
| シール | ボンネット | FKM (Viton) |
| ゲート | FKM (Viton) | |
| 軸シール | Oリング回転軸シール | |
| 取付方向 | 自由 | |
| コンダクタンス(分子流) Series25.0 | DN16/25/40 | 5/16/46 ls-1 |
| コンダクタンス(分子流) Series25.1 | DN16/25/40 | 6/19/55 ls-1 |
製品一覧
- NW16高真空シリンダーバルブ (アングルバルブ)
型式：25024-KA24
- NW25高真空シリンダーバルブ (アングルバルブ)
型式：25028-KA24
- NW40高真空シリンダーバルブ (アングルバルブ)
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- NW16高真空シリンダーバルブ (インラインバルブ)
型式：25124-KA24
- NW25高真空シリンダーバルブ (インラインバルブ)
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型式：25132-KA24